Gebraucht APSYSTEM KORONA-1200P #9314987 zu verkaufen

APSYSTEM KORONA-1200P ist ein innovativer Rapid Thermal Processor (RTP) mit einer maximalen Verarbeitungstemperatur von 1200 ° C. Diese Hightech-Ausrüstung ist für eine effiziente und gleichmäßige Erwärmung von Wafern, Fotolack und Dielektrika ausgelegt. Mit einer überlegenen Temperaturgleichmäßigkeit von ± 2 ° C sorgt KORONA-1200P für eine präzise und genaue Kontrolle von Zeit und Temperatur. Mit einer Standardkammergröße von 150 x 150 mm und der optionalen großen Kammergröße von 200 x 200 mm ist APSYSTEM KORONA-1200P in der Lage, eine breite Palette von Substraten aufzunehmen. Es ist mit einer Vielzahl von Fluorkohlenwasserstoff-Gaschemien kompatibel und kann für den automatischen Betrieb programmiert werden. Die geräumige Arbeitskammer und das effiziente konvektive Kühlsystem machen es ideal für die Bearbeitung von Wafern bis zu 5 "Durchmesser. Darüber hinaus verfügt KORONA-1200P über beeindruckende 4 Rampen mit bis zu 8 Segmenten Temperatureinstellung. Seine Fähigkeit, schnelle Aufwärm-/und Abkühlzeiten zu liefern, sorgt für schnelle und konsistente perfekte Ergebnisse. Seine intuitive Benutzeroberfläche mit einer Vielzahl von nützlichen Einstellungen ermöglicht es dem Benutzer, das thermische Profil für optimierte Prozesse anzupassen. APSYSTEM KORONA-1200P verfügt auch über erweiterte Sicherheitsfunktionen, um Kontaminationen zu verhindern. Eine integrierte leckagearme Metalldichtungseinheit isoliert die Kammer von der Umwelt und hält Umweltschadstoffe fern. Der Kern dieser Maschine verwendet eine Kombination aus Quarz- und Wärmeübertragungsplattendesign, um überlegene Temperaturgleichmäßigkeit und Prozessgleichförmigkeit zu liefern. Insgesamt ist KORONA-1200P ein zuverlässiger schneller thermischer Prozessor, der eine hervorragende Temperaturgleichmäßigkeit und präzise Steuerung für die Waferbearbeitung bietet. Die Kombination aus schnellen Heiz-/Kühlzeiten, hohen Temperaturfähigkeiten und intuitiver Benutzeroberfläche machen es zur idealen Wahl für Forscher, die an Halbleiterscheiben arbeiten.