Gebraucht APSYSTEM KORONA-1200P #9351328 zu verkaufen
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ID: 9351328
Weinlese: 2011
Rapid Thermal Processing (RTP) systems
Process: IMP
2011 vintage.
APSYSTEM KORONA-1200P ist ein schneller Wärmeprozessor zur schnellen Erwärmung und Kühlung von Substraten mit hoher Genauigkeit. Der Prozessor verfügt über ein einzigartiges technologisches Design, das es ermöglicht, eine konstante und kontrollierbare thermische Umgebung zu erhalten, ohne dass externe Steuerungssysteme erforderlich sind. Dies macht es ideal für Anwendungen, die eine schnelle thermische Verarbeitung wie Ätzen, Dotieren, Metallabscheidung und Dünnschichtabscheidung erfordern. Der Prozessor wird von einer leistungsstarken und zuverlässigen Hochleistungsheizung angetrieben, die in nur 1 Sekunde bis zu 1200oC erreichen kann. Diese Funktion ermöglicht es dem Anwender, die Temperatur exakt und präzise ohne externe Rüst- oder Steuerungssysteme zu steuern. Die thermische Umgebung wird auch in der gesamten Bearbeitungskammer so gleichmäßig wie möglich gehalten, was für beste Ergebnisse sorgt. Darüber hinaus verfügt der Prozessor über eine effiziente Kühleinrichtung, mit der die Komponenten in der Prozesskammer schnell und effektiv gekühlt werden können. Das Kühlsystem soll Wärmeschockprobleme minimieren und kann die Prozesskammer in nur 10 Sekunden auf Temperaturen unter -100oC abkühlen. Der Prozessor verfügt außerdem über mehrere Überwachungssysteme, um einen sicheren Betrieb und eine sichere Leistung zu gewährleisten. Dazu gehören ein Sauerstoffmonoxiddetektor zur Überwachung gefährlicher Gaswerte in der Prozesskammer, ein Drucksensor zur Überwachung der Druckniveaus und ein Temperatursensor zur Überwachung der Temperatur der Prozesskammer. Der Prozessor ist auch in der Lage, mehrere Prozesse gleichzeitig mit seiner Batch-Verarbeitungsfunktion zu steuern. Dadurch kann ein Benutzer Batch-Programme mit mehreren Schritten und Parametern erstellen, die nacheinander oder gleichzeitig ausgeführt werden können. Dies macht es ideal für komplexe Verarbeitungsanwendungen, die mehrere Prozesse erfordern. Insgesamt ist KORONA-1200P eine ausgezeichnete Wahl für Anwendungen, die eine schnelle thermische Verarbeitung erfordern. Seine fortschrittlichen Technologien bieten eine genau steuerbare Heiz- und Kühleinheit, eine effiziente Kühlmaschine, Überwachungssysteme für Sicherheit und Leistung und die Fähigkeit, mehrere Prozesse gleichzeitig zu steuern. Dies macht diesen Prozessor extrem zuverlässig und ideal für jede Anwendung, die eine schnelle thermische Verarbeitung erfordert.
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