Gebraucht APSYSTEM KORONA-12SP #293610720 zu verkaufen

APSYSTEM KORONA-12SP ist ein Rapid Thermal Processor (RTP), der speziell für die Prozessverbesserung von Halbleiterscheiben entwickelt wurde, um sicherzustellen, dass die höchste Qualität der Halbleiterbauelementproduktion erreicht wird. KORONA-12SP verfügt über zwei unabhängig gesteuerte Kammern mit jeweils präziser Temperatur, Druck und Gleichmäßigkeit der Wärmeübertragung durch Kontakt mit dem Wafer. Das spezialisierte Heizsystem im Herzen von APSYSTEM KORONA-12SP wurde entwickelt, um eine präzise thermische Balance durch die Handhabung aller wichtigen thermischen Parameter, einschließlich der thermischen Leistung jeder Kammer, sowie die Temperatur und Energie Kopffreiheit zu bieten. Diese präzise Wärmebilanz gewährleistet eine Prozessstabilität, die eine hohe Chipausbeute und eine verbesserte Geräteleistung für konsistentere, hochwertigere Geräte aufweist. Diese stabile Temperaturmessung sorgt auch im Laufe der Zeit für präzise, wiederholbare Ergebnisse. Die präzise Prozesssteuerung wird durch den Einsatz von Festkörpersensoren verwaltet, die eine Reihe von Parametern messen und überwachen können. Dies beinhaltet die Fähigkeit, die Temperaturen sowohl innerhalb jeder Kammer als auch über den Wafer selbst zu überwachen. Diese Daten werden in Echtzeit gesammelt und können zur schnellen Anpassung thermischer Parameter verwendet werden, um wiederholbare und reproduzierbare Prozessergebnisse zu gewährleisten. Darüber hinaus können KORONA-12SP für eine Vielzahl von Wafergrößen von 25 mm bis 200 mm konfiguriert werden. Dies in Kombination mit der robusten Wärmeübertragungsfähigkeit des Systems stellt sicher, dass die bestmögliche thermische Gleichmäßigkeit über eine Reihe von Wafergrößen erreicht wird. APSYSTEM KORONA-12SP hat auch die Fähigkeit, eine Reihe von Materialien zu verarbeiten, einschließlich Silizium, organische Materialien und andere Substrate. KORONA-12SP ist eine fortschrittliche RTP-Lösung, die eine präzise thermische Umgebung zur Verbesserung der Prozessleistung von Halbleiterscheiben bietet. Seine präzise thermische Gleichmäßigkeit, kombiniert mit der detaillierten Prozesskontrolle durch sein Bordüberwachungssystem, tragen dazu bei, eine qualitativ hochwertige Geräteproduktion mit konsistenten, wiederholbaren Ergebnissen zu gewährleisten.