Gebraucht APSYSTEM KORONA-12SP #293666860 zu verkaufen

APSYSTEM KORONA-12SP
ID: 293666860
Rapid Thermal Processing (RTP) systems.
APSYSTEM KORONA-12SP ist ein Rapid Thermal Processor (RTP) zur schnellen thermischen Behandlung einer Vielzahl von Halbleiterscheiben. Es verwendet fortschrittliche direkte Heiztechnologie, die schnelle Beschleunigungen nutzt, um Spitzentemperaturen auf der Probe innerhalb von Millisekunden zu erreichen. Der Prozessor verfügt über ein eingebautes CVD-Rohr (Chemical Vapor Deposition) und eine direkt erwärmte Kathode, wodurch Benutzer die gesamte Waferoberfläche gleichmäßig erwärmen können. KORONA-12SP selbst ist luftgekühlt, d.h. es dürfen keine Flüssigkeiten zur Kühlung des Wafers verwendet werden. Die Maschine ist mit einem Multi-Jet-Prozessmodul ausgestattet, mit dem der Prozessor die Umgebung des Wafers schnell und präzise ändern kann. Durch die Änderung von Druck, Gasstrom und Temperatur innerhalb dieses Moduls können Benutzer die Diffusions- oder Abscheidegeschwindigkeit auf der Probe steuern. APSYSTEM KORONA-12SP verfügt auch über eine fortschrittliche mikrowellenheizbare Verriegelung. Dieser Riegel wird verwendet, um den Wafer während der Behandlung sicher zu halten und zu verhindern, dass er während der Rotation verrutscht. Der Riegel enthält auch ein eingebautes Heizelement, wodurch während der Behandlung keine separate Wärmequelle erforderlich ist. Um eine präzise Temperaturregelung zu gewährleisten, ist KORONA-12SP mit einer fortschrittlichen Infrarot-Temperaturerfassungseinrichtung ausgestattet. Dieses System überwacht die Temperatur des Wafers und stellt bei Bedarf die Wärmeleistung ein. APSYSTEM KORONA-12SP verfügt zudem über eine hochwertige Sicherheitseinheit. Der Prozessor ist mit Warnwarnungen ausgestattet, die den Benutzer benachrichtigen, wenn die Temperatur eine eingestellte Schwelle annimmt. Darüber hinaus gibt es verschiedene Schlösser und Fänge, um sicherzustellen, dass die Probe während des Betriebs sicher ist. Insgesamt ist KORONA-12SP ein zuverlässiger, effizienter Prozessor, der eine Vielzahl von Halbleiterscheiben schnell behandeln kann. Die eingebaute chemische Dampfabscheidungsröhre, die Direkt-Heizkathode, das Multi-Jet-Prozessmodul, die mikrowellenheizte Verriegelung und die Infrarot-Temperaturerfassungsmaschine ermöglichen eine präzise und genaue thermische Behandlung und sorgen für optimale Ergebnisse. Darüber hinaus sorgen seine Sicherheitsmechanismen dafür, dass der Prozessor jederzeit sicher betrieben wird.
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