Gebraucht AXCELIS / FUSION Integra RS #293593049 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION Integra RS ist ein Rapid Thermal Processor (RTP), der für schnelle thermische Diffusionsprozesse wie schnelle Oxidation, Glühen und Drive-In entwickelt wurde. Dieses Verfahren ist in der Halbleiterindustrie aufgrund seiner vielseitigen Fähigkeiten und seiner Effizienz immer beliebter. FUSION Integra RS wurde speziell entwickelt, um eine schnelle und zuverlässige parametrische Optimierung zu ermöglichen, die Prozessleistung zu verbessern und die Gerätefunktionalität zu optimieren. AXCELIS Integra RS verfügt über eine mechanische Konstruktion, die maximale Flexibilität und Prozessverfügbarkeit bietet. Seine proprietäre Rapid Thermal Ramp Technologie sorgt für eine einheitliche Temperaturregelung und Leistung über große Wafergrößen und ist somit für eine Vielzahl von Prozessoptionen geeignet. Das System ist mit zweisektorförmigen Radialarmen und softwaregesteuerten aktiven Zonen für eine einfache, uniformierte Substrattemperaturregelung ausgestattet. Integra RS verfügt auch über erweiterte Sicherheit und Umweltschutz. Sein modernes Vakuum- und Rückfüllsystem ermöglicht eine stabile atmosphärische Verarbeitung und hält die Prozessumgebung sauber. Erweiterte Sicherheitsdesign-Funktionen sind enthalten, einschließlich Sicherheitsverriegelungen, akustische Alarme und Überschreiben Tasten. AXCELIS/FUSION Integra RS bietet Prozessgleichmäßigkeit für elektrische und strukturelle Prozesse. Das System unterstützt ein breites Spektrum an Prozesstemperaturen und kann auf spezifische Prozessanforderungen angepasst werden. Darüber hinaus verfügt FUSION Integra RS über fortschrittliche optische und Temperatursensortechnologien, die eine Echtzeit-Temperaturmessung und -Rückmeldung sowie eine Post-Process-Analyse ermöglichen. AXCELIS Integra RS wurde entwickelt, um einen erhöhten Durchsatz, niedrige Prozesskosten und zuverlässige, wiederholbare Ergebnisse zu erzielen. Integra RS ist mit seiner fortschrittlichen Sicherheits-, Umwelt- und Temperaturregelungstechnologie die perfekte RTP-Lösung für Anwendungen von MEMS-Geräten bis hin zur großflächigen Photovoltaik.