Gebraucht AXCELIS Summit #9359567 zu verkaufen

AXCELIS Summit ist ein Rapid Thermal Processor (RTP). Es ist ein thermisches Hochdurchsatz-Werkzeug, das für die elektronische Gerätebearbeitung in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Summit ist der derzeit zuverlässigste und effektivste Rapid Thermal Prozessor. AXCELIS Summit bietet eine Kombination aus überlegener thermischer Leistung, Gleichmäßigkeit und Genauigkeit, die für die Geräteherstellung mit höchster Kontrolle entscheidend ist. Summit verfügt über zwei unabhängige Zweizonenkammern, die jeweils unabhängige Heiz- und Steuerfunktionen für optimale Temperaturgleichmäßigkeit und Verarbeitungsgenauigkeit bieten. Die Prozesskammer von AXCELIS Summit verfügt über ein innovatives indirektes Heizelementsystem, das gleichmäßig Energie über seine gesamte Fläche verteilt und eine präzise Steuerung des Wafer-Heizprofils gewährleistet. Fortschrittliche Temperaturerfassungs- und Steuerungstechnologie bietet ausgezeichnete Profilgenauigkeit und hohe Kammertemperaturen für überlegene Geräteleistung. Das Doppelzonen-Heizsystem von Summit nutzt eine einzigartige direkte/indirekte Heiztechnologie, um eine überlegene Temperaturgleichmäßigkeit und ein stabiles, vorhersagbares Temperaturprofil zu liefern. Ein Single-Zone RTP bietet einen einzigen Satz von Strahlungsheizelementen, die durch unabhängige, unabhängige, programmierbare Controller gesteuert werden. Dieses Dual-Zone RTP bietet zwei Strahlungsheizelemente mit jeweils eigenem Regler, so dass das Temperaturprofil und die Gleichmäßigkeit in jeder Zone unabhängig eingestellt werden können. AXCELIS Summit ist hochgradig anpassbar und konfigurierbar, um den Anforderungen praktisch jeder Waferbearbeitungsanwendung gerecht zu werden. Es unterstützt viele verschiedene Prozesse, einschließlich Standard- und fortschrittliche Hochtemperatur-Rezepte. Die Temperaturregelung ist vielseitig und flexibel, nur durch die Grenzen der Anwendung begrenzt. Die zahlreichen Optionen von Summit umfassen die Auswahl von Remote-Rezepten, Algorithmen für erweiterte Steuerungen, automatische Validierung der Rezepturhardware, Rotationsfunktionen, rückseitige Heizung, Konfigurationen mehrerer Waferkassetten und unabhängige Temperaturregelung für jede Heizzone. Die benutzerfreundliche Benutzeroberfläche von AXCELIS Summit ermöglicht eine hochgenaue Temperaturregelung und erspart komplexe Berechnungen, um Rezepte zu modifizieren. Seine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI) ermöglicht es Benutzern, das RTP mit minimaler Anpassung einfach und effizient zu steuern. Summit ist eine zuverlässige, leistungsstarke und kostengünstige Lösung für die Einzelwaferbearbeitung. Es bietet überlegene Wärmeleistung und Gleichmäßigkeit, um höchste Ausbeute und Leistung der Geräte zu gewährleisten. Es ist eine ideale Wahl für diejenigen, die eine effiziente, zuverlässige und genaue einzelne Waferbearbeitungslösung benötigen.