Gebraucht BOC EDWARDS Helios 1 #9203075 zu verkaufen
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ID: 9203075
Weinlese: 2001
Gas abatement scrubber system
Power: 110V, 60Hz, 20A
2001 vintage.
BOC EDWARDS Helios 1 Rapid Thermal Processor ist ein vielseitiges, zuverlässiges und effizientes thermisches System für die hochpräzise Verarbeitung moderner Halbleiterbauelemente. Es ist in der Lage, eine schnelle thermische Verarbeitung bis zu 1.200 ° C mit einer maximalen Rampenrate von bis zu 300 ° C/Sekunde. Durch die Verwendung seiner Hochgeschwindigkeitsrampen ist das System in der Lage, die thermische Zykluszeit drastisch zu reduzieren, was zu einer schnelleren Umdrehungszeit zwischen den Prozessschritten führt. Helios 1 ist mit einem ultraschnellen Läppquarz-Suszeptor ausgestattet und reicht von 500 mm bis 150 mm Wafergrößen. Es ist mit verschiedenen Zonen entworfen, die unabhängig gesteuert und beheizt werden, so dass Präzisionstemperaturprofilierung für eine bessere Prozesssteuerung. BOC EDWARDS Helios 1 bietet überlegene Einheitlichkeit über seine Prozesskammer, um mit jedem Prozess wiederholbare Ergebnisse zu erzielen. Darüber hinaus verfügt es über anpassbare Glüh- und Diffusionsprofile und kann mit Glocken, Relais und anderem Zubehör ausgestattet werden, um erweiterte Fähigkeiten wie Vorwärme- und Kühlstufen zu ermöglichen. Helios 1 wurde mit fortschrittlicher Bewegungssteuerung und einfacheren Wartungsfunktionen entwickelt. Es ist mit einer Kachel zum automatischen Laden/Entladen ausgestattet, um die manuelle Be- und Entladezeit zu reduzieren, und es enthält Software, mit der der Benutzer problemlos thermische Prozesse planen, überwachen und anpassen kann. Es bietet auch erweiterte Datenerfassungsfunktionen, die eine verbesserte Überwachung und Kontrolle des thermischen Prozesses ermöglichen. BOC EDWARDS Helios 1 ist ein zuverlässiges und effizientes schnelles thermisches Prozesssystem, das deutlich schnellere thermische Rampenraten, ausgezeichnete thermische Gleichmäßigkeit und anpassbare Profile bietet, um hochpräzise Ergebnisse zu erzielen. In Verbindung mit der automatischen Lade-/Entlade-Fliese und dem automatisierten Heizersatz ist Helios 1 ein unschätzbares Werkzeug für die moderne Halbleiterverarbeitung.
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