Gebraucht BOC EDWARDS Helios-S #9203025 zu verkaufen

BOC EDWARDS Helios-S ist ein flexibler, leistungsfähiger Rapid Thermal Processor (RTP), der die Leistung von Halbleiterprozessen verbessert. Es ist in der Lage, eine Reihe von sicheren Prozessen schnell und gleichmäßig durchzuführen. Es bietet eine Temperaturgleichmäßigkeit von besser als ± 1 ° C über den gesamten Wafer und bietet zuverlässige und kostengünstige Leistung. Helios-S ist für kleine Forschungsanwendungen und Großserienproduktion konzipiert. Es ermöglicht eine präzise thermische Verarbeitung über einen Bereich von 25 bis 1200 ° C. Es bietet ausgezeichnete Temperaturgleichförmigkeit, gleichmäßige Atmosphären und außergewöhnliche Stabilität für ein homogenes Temperaturprofil, was eine verbesserte Prozesskonsistenz und Wiederholbarkeit ermöglicht. Es verwendet fortschrittliche Varianten des konventionellen Rapid-Thermal-Anneal (RTA) -Prozesses, die Herstellungsprozesse mit hohem Durchsatz ermöglichen. Der Prozessor verfügt über schnelle Anstiegs- und Fallraten, die gleichmäßige und schnelle Temperaturänderungen ermöglichen. Dies führt zu einer verbesserten Präzision und Gleichmäßigkeit, was eine bessere Geräteleistung und kleinere Formgrößen ermöglicht. BOC EDWARDS Helios-S umfasst sowohl vertikale als auch horizontale Rohrkonfigurationen für eine Vielzahl von Prozessanforderungen. Es unterstützt auch einseitige und mehrseitige Verarbeitung von bis zu 300mm Wafern. Es verwendet eine herkömmliche Hybridgasförderanlage, um den gewünschten Prozess- und Inertgasfluss zu gewährleisten. Helios-S verwendet ein maßgeschneidertes Automatisierungssteuerungssystem, das mit mehreren Prozessoren vernetzbar ist und flexible Prozessparameter ermöglicht. Zusätzlich schließt die Einheit Kontrollfähigkeiten für Hochfrequenzgerätcharakterisierungswerkzeuge ein, verbesserte Prozessleistung berücksichtigend. BOC EDWARDS Helios-S ist für einen komfortablen und zuverlässigen Betrieb ausgelegt. Es verwendet benutzerfreundliche Software, so dass Benutzer die Maschine schnell konfigurieren und bedienen können. Es bietet komfortable Datenprotokollierungsfunktionen, mit denen Benutzer Sollwerte ändern und Protokollwerte aus der Ferne anzeigen können. Darüber hinaus verfügt der Prozessor über integrierte Prozesskontroll- und Geräteüberprüfungsfunktionen, die eine wiederholbare Leistung gewährleisten. Zusammenfassend ist Helios-S ein fortschrittlicher schneller thermischer Prozessor, der eine sichere und durchsatzstarke Verarbeitung bei verschiedenen Temperaturen ermöglicht. Es bietet ausgezeichnete Temperaturgleichförmigkeit, gleichmäßige Atmosphären und außergewöhnliche Stabilität für ein homogenes Temperaturprofil für verbesserte Prozesskonsistenz und Wiederholbarkeit. Darüber hinaus verfügt es über ein komfortables Automatisierungssteuerungstool und eine benutzerfreundliche Software für eine bequeme und zuverlässige Bedienung.