Gebraucht BOC EDWARDS Helios #168833 zu verkaufen

BOC EDWARDS Helios ist ein Rapid Thermal Processor (RTP), hergestellt von BOC EDWARDS, einem Technologieführer in den Bereichen Vakuumsysteme, Abbau und Halbleiterherstellung. Helios RTP ist eine leistungsstarke parallele Waferbearbeitungsanlage, die speziell für den Einsatz bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. BOC EDWARDS Helios RTP bietet eine einzige, automatisierte Lösung für eine Vielzahl von Verarbeitungsvorgängen, einschließlich thermischer Oxynitridation, Glühen, Diffusion und Ätzen. Es ist in der Lage, bis zu sechzehn Wafer mit einem Durchmesser von bis zu acht Zoll zu verarbeiten, mit einer Gesamtlast von achtundsechzig Wafern. Helios RTP verfügt über einen modularen Aufbau mit der Fähigkeit zu erweitern, so dass die Hersteller die Flexibilität, ihr System auf ihre Produktionsanforderungen zu konfigurieren. Die Einheit verfügt über fünf unabhängige Module, jedes mit einem eigenen Controller, um eine einheitliche, wiederholbare und zuverlässige Leistung zu liefern. Die E-Century Automation Machine steuert, überwacht und verwaltet die Verarbeitungsvorgänge, um konsistente und zuverlässige Ergebnisse ohne manuelle Abstimmung oder häufige Programmänderungen zu liefern. Das E-Century Automation Tool integriert sich auch in Fabrikautomatisierungs- und Prozessüberwachungssysteme wie fab-wide und Enterprise Resource Management (ERP) Software, um die Kompatibilität mit bestehenden Produktionssystemen zu gewährleisten. Das Wafer Shuttle maximiert die Effizienz, indem es eine unterbrechungsfreie und Echtzeit-Prozesssteuerung gewährleistet. Dies ermöglicht die signifikante Reduzierung der zum Be- und Entladen von Chargen erforderlichen Freilaufzeiten, was effizientere und kostengünstigere Produktionszyklen bedeutet. BOC EDWARDS Helios RTP ist ideal für Hersteller, die einen hohen Durchsatz, eine präzise Steuerung und maximale Flexibilität in ihren Halbleiterproduktionsprozessen suchen. Mit seinem modularen Aufbau, einer einheitlichen Verarbeitungsleistung, integrierter Software und automatisiertem Betrieb liefert Helios RTP zuverlässige, wiederholbare Ergebnisse bei maximaler Produktivität.