Gebraucht BOC EDWARDS Helios #9096427 zu verkaufen

BOC EDWARDS Helios ist ein fortschrittlicher Rapid Thermal Processor (RTP), der es ermöglicht, thermische Glühprozesse wie Siliciden, Dotierungsaktivierung, Fehlerheilung, Metallisierung und Kristallisation problemlos in die Halbleiterbauelementherstellung einzubauen. Helios thermische Prozessgeräte verwenden eine Kombination aus Hochleistungslampen und Gasheizungen, die für Temperaturen bis zu 1.200 ° C konfiguriert werden können. Seine streng kontrollierte Heizfähigkeit ist ideal für eine Reihe von Prozessanwendungen wie Glühen, Rekristallisieren, Härten und strukturiertes Glühen. BOC EDWARDS Helios wurde unter Verwendung eines Dual-Zone-of-Control und eines patentierten Doped-YAG Wärmestrahlerschemas entwickelt. Dies ermöglicht ein hohes Maß an Flexibilität und Leistungssteuerung, so dass der Benutzer schnell zwischen Prozessen wechseln kann und gleichzeitig ein hohes Maß an Treue und Gleichmäßigkeit der Verarbeitung gewährleistet ist. Helios verfügt außerdem über eine leistungsstarke grafische Benutzeroberfläche (GUI), die einen effizienten Betrieb und eine verbesserte Prozesssichtbarkeit ermöglicht. Das System umfasst eine Vielzahl von Überwachungswerkzeugen, wie eine integrierte Infrarotkamera, um Prozessparameter und Maschinenleistung durch seine Analysesoftware zu überwachen und dem Benutzer Echtzeit-Einsicht in den Prozess zu bieten. Darüber hinaus bietet BOC EDWARDS Helios mehrere Steuerungen zur präzisen Verwaltung des thermischen Prozesses bei gleichzeitig hohen Durchsatzraten. Dazu gehören Steuerung des offenen Kreislaufs, manuelle Steuerung und vollautomatische rezeptgesteuerte Steuerung. Helios verfügt auch über eine hohe Spezifikation N2 Reinigungseinheit, die die Notwendigkeit der Speicherung großer Mengen an Stickstoff, sowie eine Micro-ESC-Reaktant-Maschine für Rezept Gebäude und Management eliminiert. Dadurch wird sichergestellt, dass alle prozessbezogenen Materialien schnell und präzise in das Werkzeug eingespeist werden. BOC EDWARDS Helios Schnellwärmeprozessor ist ideal für die meisten Anwendungen, die eine schnelle, genaue thermische Verarbeitung erfordern. Mit seiner flexiblen Konfiguration, robusten Steuerungssystemen und intuitiver Software ermöglicht Helios Benutzern, die Geräteleistung zu maximieren und gleichzeitig Prozesszeit und -kosten zu minimieren.