Gebraucht BOC EDWARDS Helios #9203029 zu verkaufen

BOC EDWARDS Helios ist ein fortschrittlicher schneller thermischer Prozessor, der speziell für das schnelle und effiziente thermische Glühen von Halbleitermaterialien entwickelt wurde. Das Gerät ist ein ideales Werkzeug für die Waferbearbeitung von Metallen, Oxiden und Verbindungen in rauen Umgebungen wie hohen Temperaturen und korrosiven Chemikalien. Das System verwendet eine fortschrittliche sauerstoffarme Umgebung in einem Quarzrohrofen (QTF), mit dem der Glühprozess in sehr kurzen Zeiträumen, meist in der Größenordnung von Minuten, abgeschlossen werden kann. Helios Rapid Thermal Processor bietet flexible Kammergrößen von 96mm bis 200mm und streng kontrollierte Umweltparameter, die das präzise Glühen einer Vielzahl empfindlicher Halbleitermaterialien ermöglichen. Es verfügt über zwei Quarzrohre; das innere Quarzrohr wird zur Vernebelung der Probe verwendet, die eine Ansammlung von Partikeln verhindert, während das äußere Quarzrohr als Isolator wirkt, der die Temperatur und Umgebung innerhalb der Kammer stabil hält. Der schnelle thermische Prozessor verfügt auch über mehrere fortschrittliche Sicherheitsmerkmale wie automatischen Ventilverschluss und Abgas sowie eine druckgesteuerte Dichtung, die das Risiko einer versehentlichen Überhitzung und Exposition gegenüber gefährlichen Lösungsmitteln verringert. Darüber hinaus ermöglicht sein breiter Temperaturbereich das Glühen eines breiten Spektrums von Halbleitermaterialien mit minimalem Risiko eines Materialabbaus. BOC EDWARDS Helios Schnellwärmeprozessor verfügt auch über ein erweitertes SPS (Substratschutzsystem), das die absolute Temperaturregelung ermöglicht, während sich das Substrat in der Prozesskammer befindet. Dadurch wird sichergestellt, dass der Glühvorgang mit minimalen thermischen Schwankungen abgeschlossen ist und die Temperatur des Substratmaterials möglichst konstant gehalten wird. Darüber hinaus ermöglicht seine PID (Programmable Intensity Displacement) die Feinabstimmung des Glühprozesses, indem die Temperatur über die Zeit eingestellt wird, um ein optimales Temperaturprofil zu erzeugen. Insgesamt ist Helios ein fortschrittlicher schneller thermischer Prozessor, der einen schnellen, effizienten und sicheren Glühprozess für eine breite Palette empfindlicher Halbleitermaterialien bietet. Die flexiblen Kammergrößen, die präzise Umweltkontrolle und die fortschrittlichen Sicherheitsmerkmale machen es zu einem zuverlässigen und effizienten Werkzeug für eine Vielzahl von Prozessen.