Gebraucht BOC EDWARDS Helios #9203031 zu verkaufen

ID: 9203031
Weinlese: 2003
Gas abatement scrubber system 2003 vintage.
BOC EDWARDS Helios ist ein schneller thermischer Prozessor, der für die schnelle, wiederholbare Verarbeitung von Substraten in Forschung, Entwicklung und Produktion für die Halbleiter-, Optoelektronik-, Photovoltaik-, Solarzellen-, Verbundwerkstoff- und Medizinprodukteindustrie entwickelt wurde. Es bietet schnelle thermische Glüh-, Härtungs- und andere Materialbearbeitungslösungen auf einer Reihe von Substraten. Es kann in Verbindung mit einer Vielzahl von Abscheidungswerkzeugen wie Sputter-Ionen-Beschichtung und organische chemische Dampfabscheidung (oCVD) für die Prozessoptimierung verwendet werden. Helios verfügt über zwei standardmäßig beheizte Eingangskammern mit wahlweise dritten und vierten Kammern für Mehrkammersysteme. Es kann bis zu vier Proben gleichzeitig verarbeiten und hat je nach Anwendung eine maximale Temperatur von 1000 ° C. Diese Kammern haben eine Kapazität von bis zu 20mm im Durchmesser und 10mm in der Höhe. Die Probenhalter innerhalb der Kammern bieten ein Maß an Flexibilität und verbessern die Reproduzierbarkeit der Ergebnisse. Die Prozesskontrollen auf BOC EDWARDS Helios sind sehr anspruchsvoll. Es verfügt über ein modernes PID-Kontrollsystem, das eine genaue Temperaturregelung für einen Temperaturbereich von 50 ° C bis 1000 ° C ermöglicht. Es verfügt auch über eine erweiterte programmierbare Rampenratensteuerung, die es Benutzern ermöglicht, vordefinierte Rampenraten auf der vertikalen Achse für ein konsistentes Prozessergebnis zu erstellen. Die Heizgeräte sind Festkörper mit einer Reihe von Sensoren zur genauen Steuerung und einer robusten digitalen Kommunikationsverbindung für die Netzwerkintegration. Helios hat die volle Kontrolle über die Prozesskammerumgebung und die Prozessparameter und ermöglicht es Benutzern, die thermischen Prozessparameter wie Temperatur, sauerstoffgesteuerte Atmosphäre, Druck und Vakuum genau zu steuern. Das Steuerungssystem bietet auch die Möglichkeit, Gasströme zu steuern und Konzentrationen zu überwachen, die auf Niveaus eingestellt werden können, die für die dielektrische und andere Materialabscheidung geeignet sind. BOC EDWARDS Helios verfügt über gute Sicherheitsmerkmale, die den Sicherheitsstandards der Branche entsprechen. Es verfügt über Temperatur- und Druckbegrenzungsventile, Übertemperaturschutzausschnitte und explosionsgeschützte Gehäuse. Es hat auch programmierbare Zeitverzögerungen und eine Vielzahl von Sicherheitseinstellungen, die eingestellt werden können, um die lokalen Sicherheitsvorschriften einzuhalten. Helios bietet auch eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI) für einfache Einrichtung und Bedienung. Insgesamt ist BOC EDWARDS Helios ein fortschrittlicher und hochflexibler schneller thermischer Prozessor, der eine Vielzahl von thermischen Prozessen auf verschiedenen Substraten durchführen kann. Es verfügt über eine gute Prozesssteuerungstechnik, die eine präzise Temperatur- und Prozessparameterregelung sowie ein umfassendes Sicherheitssystem ermöglicht. Es kann in Kombination mit anderen Prozesswerkzeugen eingesetzt werden, um den Prozess zu optimieren und wiederholbare, konsistente Ergebnisse zu gewährleisten.
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