Gebraucht CENTROTHERM RTA 150 #9239213 zu verkaufen
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ID: 9239213
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2007
System, 6"
Heating power: 50 kW
Max process temperature: 1200°C
Max ramp rate: 150 K/s
Temperature accuracy: ±0.5 K
Processing gases: N2, N2H2
Heating system: (24) Lamps, PWM
Pressure controlled vacuum / Atmospheric
LEYBOLD HERAEUS Dura Dry 105 Vacuum pump
Applications:
Annealing
Dopant activation
Dry oxidation
Metal contact anneal
Barrier metal anneal
2007 vintage.
CENTROTHERM RTA 150 ist ein Schnellwärmeprozessor der Centrotec Sustainable AG, einem Technologieunternehmen mit Sitz in Deutschland. Es ist ein zuverlässiges, effizientes und leistungsstarkes Werkzeug, das von Halbleiter- und Elektronikherstellern für die thermische Verarbeitung verwendet wird. Die Ausrüstung wurde entwickelt, um schnelle, präzise und einheitliche thermische Behandlungen für eine Vielzahl von Substraten und Materialien bereitzustellen. RTA 150 ist in der Lage, thermische Prozesse in wenigen Sekunden zu erwärmen, zu kühlen und zu härten. Es verwendet eine patentierte Cool-Down-Technologie, um Substrate so schnell wie 24 ° C pro Sekunde zu kühlen. Diese schnelle Abkühltechnologie sorgt für konsistente, wiederholbare und gleichmäßige Ergebnisse. Das System ist mit einem schnellen thermischen Prozessor ausgestattet, der schnelle Temperaturübergänge ermöglicht und voreingestellte Temperaturprofile genau wiedergibt. Der vielseitige CENTROTHERM RTA 150 bietet eine erstklassige Temperaturgleichmäßigkeit mit einer durchschnittlichen Spitzentemperatur ± 1 ° C im gesamten Prozessverlauf. Dies macht das Gerät ideal für moderne, anspruchsvolle Prozesse, wie Kupfersäulenstoßen, ultradünne Düsenanbringung und Flip-Chip-Montageprozesse im Chipmaßstab. Die Maschine verfügt über mehrere integrierte Sicherheitsfunktionen, einschließlich Drucksensoren und Sicherheitsverriegelungen zum Schutz der Substrate sowie Temperatur- und Gasüberwachung. RTA 150 verfügt zudem über eine benutzerfreundliche Schnittstelle, die eine Fernüberwachung und -steuerung sowie Datenerfassung und -überprüfung ermöglicht. CENTROTHERM RTA 150 ist ein fortschrittlicher schneller thermischer Prozessor, der den Anforderungen der heutigen Halbleiter- und Elektronikindustrie gerecht wird. Dank seiner schnellen Wärmeübertragungsfunktionen ist es eine ideale Wahl für fortgeschrittene Prozesse, während seine Ungleichmäßigkeit und Sicherheitsmerkmale für konsistente und zuverlässige Ergebnisse sorgen.
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