Gebraucht DNS / DAINIPPON LA-820 #9148527 zu verkaufen

DNS/DAINIPPON LA-820 ist ein schneller thermischer Prozessor (RTP), der zur Wärmebehandlung von Substraten oder Wafern verwendet wird, um gewünschte elektrische, optische und mechanische Eigenschaften zu schaffen. Das RTP verwendet eine Kombination aus Heizelementen, Gassteuerungssystemen und Vakuumtechnologien, um eine gleichmäßige Wärmebehandlung des Substrats zu gewährleisten und gleichzeitig einen minimalen Wärmeverlust oder eine Strahlung außerhalb der Kammer zu gewährleisten. DNS LA820 verfügt über zwei unabhängig voneinander betriebene Kammern, die sich ideal für Prozesse eignen, die unterschiedliche Temperaturen in verschiedenen Stufen erfordern. Da jede Kammer unabhängig betrieben wird, ermöglicht sie schnellere Taktzeiten, geringere Wartungskosten und weniger Kontamination zwischen den Prozessen. Es verfügt außerdem über eine Temperaturregelung, die eine präzise Temperaturregelung von Kammer zu Kammer ermöglicht. Das RTP besitzt ein Pyrometer hoher Genauigkeit, das die Substrattemperatur kontinuierlich und unabhängig für jede Kammer misst. Dadurch wird sichergestellt, dass die genaue Temperatureinstellung während des Prozesses beibehalten wird. Das Pyrometer kann Temperaturen bis 900 ° C messen. Die Temperaturgleichförmigkeit zwischen den Kammern liegt ebenfalls innerhalb ± 1 ° C. DAINIPPON LA 820 verfügt zudem über eine schnelle Zykluszeit, die die Energiekosten minimiert. Es ist Gasflussregler ermöglicht eine unabhängige Gasflussregelung für jede Kammer. Dies ermöglicht eine genaue Gasregelung, die eine zuverlässige Wartezeit-Temperaturmessung gewährleistet. Die Gesamtzykluszeit des RTP reicht typischerweise von 10 Sekunden je nach Substratgröße, Temperaturprofil und verwendeten Gasen. Neben der Gassteuerung verfügt LA 820 auch über ein aktives Vakuumsystem, das eine integrierte Spiralturbopumpe und eine Schrupppumpe enthält. Dadurch entfällt die Notwendigkeit einer externen Pumpe und eine Verschmutzung zwischen den Prozessen wird vermieden. Das integrierte Vakuumsystem bietet auch eine kontrollierte Atmosphäre für Prozesse wie Oxidation oder Nitridierung. Insgesamt ist DNS/DAINIPPON LA 820 ein effizienter schneller thermischer Prozessor, der eine hohe Genauigkeit und eine hohe Temperaturwärmebehandlung für Substrate und Wafer bereitstellen kann. Es bietet schnelle Zykluszeiten und eine präzise Temperaturregelung, bietet aber auch eine zuverlässige Gaskontrolle und eine kontrollierte Atmosphäre.