Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS Summit XT #9095589 zu verkaufen

EATON NOVA/AXCELIS Summit XT ist ein schneller thermischer Prozessor, der hochwertige Wafermaterialien wie Silizium, Germanium, Galliumarsenid und Gitter bei Temperaturen von 600 ° C bis 800 ° C schnell verarbeitet. Es ist speziell für Sub-Mikron-Lithographieanwendungen konzipiert, die ein präzises Ätzen und Dotieren von Metallschichten und anderen Materialien für die Wafererzeugung ermöglichen. AXCELIS Summit XT kann bis zu 18 Wafer gleichzeitig verarbeiten und kann kontinuierlich laufen, wodurch die Herstellung mehrerer Wafer in kurzer Zeit möglich ist. Das Gerät nutzt die von AXCELIS entwickelte Induktionsheiztechnik, um Wafer schnell und effizient zu erwärmen. Das System verfügt außerdem über einen vier Zonen heißwandigen Kalzinator namens Pulsar 12 mit einem optimierten Widerstandsheizelement, das eine präzise Temperaturregelung ermöglicht. EATON NOVA Summit XT bietet hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit sowie ein Prozessfenster zur thermischen Oxidation und Ätzung. Es verfügt über automatisierte computergesteuerte Prozessschritte sowie eine Selbstdiagnosefähigkeit für erhöhte Bedienersicherheit. Die Maschine ist auch mit fortschrittlicher Diagnose ausgestattet, wie digitales Temperaturprofil und Temperaturrückkopplung pro Zone. Es steht eine Rezeptdatenbank in Echtzeit zur Verfügung, die vorprogrammierte wiederholbare Prozesse ermöglicht. Summit XT bietet hervorragende Prozessgleichmäßigkeit und verbesserte Prozesswiederholbarkeit, insbesondere im Umgang mit schwer verarbeitbaren Materialien wie Polysilizium. Es ist eine wartungsarme Einheit mit modularen Komponenten und reduzierender Redundanz für einfache Reparatur und Service. EATON NOVA/AXCELIS Summit XT umfasst viele Standardfunktionen, wie interne Thermoelement-Temperaturmessanschlüsse und eine Prozesssteuerung, die der Maschine Echtzeit-Automatik bietet. Es umfasst auch detaillierte Prozessüberwachung, automatische Sicherheitsverriegelung und Sicherheitsrelais. Das Tool bietet auch Stickstoff und Argon Umgebungssteuerungsoptionen, automatische Gasabschaltung und eine Fernabschaltverbindung. Zusammenfassend ist AXCELIS Summit XT Rapid Thermal Processor eine zuverlässige und genaue Ressource, die darauf ausgelegt ist, Wafer mit Präzision und Wiederholbarkeit schnell zu verarbeiten. Es ist einfach zu bedienen, bietet eine Vielzahl von Prozessoptionen und bietet erweiterte Diagnose- und Sicherheitsfunktionen.