Gebraucht MATTSON AST 2800 #293811095 zu verkaufen

MATTSON AST 2800 ist ein hochmoderner Schnellwärmeprozessor für die effiziente thermische Verarbeitung von Wafern. Es ist in der Lage, die Temperaturen in einer evakuierten Kammer genau und präzise zu steuern, um Wafer schnell zu bearbeiten und den Produktionsaufwand zu reduzieren. Diese Kombination aus Präzision und Geschwindigkeit ist durch die fortschrittliche In-situ-Selbstfühltechnologie möglich, die Temperaturen und Zeiten in Echtzeit genau messen kann. MATTSON 2800 ist auch in Bezug auf Kosten und Raumeffizienz vorteilhaft, erfordert weniger Platzbedarf als andere vergleichbare Werkzeuge und erzeugt Betriebskosteneinsparungen bei höchster Qualität. AST2800 verfügt über ein umfassendes Leistungsspektrum, darunter eine stapelbare Verarbeitung von bis zu 128 Wafern, hohe Temperaturen (bis 700 ° C) und schnelle thermische Rampen (bis 150 ° C/s), eine Auswahl an Gasen von Wasserstoff bis Silan, niedriger Systemdruck (< 1 mb) und eine Reihe von Prozessrezepten, die alle für Kundenanwendungen modifiziert werden können. Die Temperatur-Gleichmäßigkeitsschritte sind auch sehr präzise und erreichen ≥ +/- 3 ° C Genauigkeit bei einer Einweichzeit von < 3 Minuten. In Bezug auf die Sicherheit verwendet MATTSON AST2800 HEPA/ULPA-Filtration, um partikelfreie Umgebungen zu gewährleisten, und ist so konzipiert, dass sie Reinraumanforderungen der Klasse 1 entspricht. 2800 verfügt außerdem über eine selbsthemmende Schublade zur Aufnahme der verarbeiteten Materialien unter Beibehaltung einer Temperaturstabilität sowie über einen Notstromspeicher, einen Über-Temperatur-Monitor und ein Verriegelungssystem, das den Strom ausschaltet, wenn ein anormaler Zustand festgestellt wird. Insgesamt ist AST 2800 ein ideales Werkzeug für die moderne Produktion und bietet eine effiziente, präzise und sichere thermische Verarbeitung. Mit seinen fortschrittlichen und anpassbaren Funktionen ist es in der Lage, eine breite Palette von Kundenanforderungen zu erfüllen und gleichzeitig Prozessqualität und Kosteneffizienz zu erhalten.