Gebraucht MATTSON AST 2800 #293820853 zu verkaufen

MATTSON AST 2800 Rapid Thermal Processor (RTP) ist ein Halbleiterbauelement, das für die Verarbeitung von Wafern mit hohem Durchsatz ausgelegt ist. Das System bietet eine Reihe von thermischen Behandlungen mit genauer Temperaturregelung und ist in der Lage, Temperaturrampenraten von 0,5 bis 15 oC/s durchzuführen. Die Wärmebehandlungskammer des Geräts kann mit bis zu 12 Temperaturzonen mit jeweils einstellbaren Gasströmungen und Temperaturbereichen konfiguriert werden, was eine präzise Durchführung von Wärmebehandlungen ermöglicht. Das Gerät wurde entwickelt, um präzise thermische Behandlungen in schnellen Zyklen für eine Vielzahl von Anwendungen bereitzustellen. Die schnellen Heiz- und Kühlprozesse der Maschine machen es ideal für die Herstellung von ultrapräzisen Temperaturrampen von oben nach unten des Wafers. Es wurde auch entwickelt, um die gesamte Wärmebehandlungszeit zu reduzieren und gleichzeitig präzise und konsistente Wärmebehandlungsbedingungen bereitzustellen, was eine Prozessoptimierung und erhebliche Kosteneinsparungen ermöglicht. Darüber hinaus ist MATTSON 2800 für den sicheren Betrieb konzipiert, mit Sicherheitsmerkmalen wie automatischer Schutzabschaltung bei übermäßigem Oxidaufbau, Leckage von Prozessgasen und unzureichenden thermischen Profilen. Das Werkzeug ist auch mit zahlreichen Kontrollsystemen ausgestattet, um eine kontinuierliche Qualitätskontrolle zu gewährleisten. AST2800 ist ein vielseitiges Verarbeitungsmaterial, das für eine Vielzahl von Halbleiteranwendungen geeignet ist, einschließlich Speicherchipherstellung, Ultra-Shallow Junction-Bildung, Dünnschichtabscheidung und Ätzprozesse. Die Flexibilität des RTP-Modells ermöglicht es dem Anwender, die Gerätekonfiguration an seine Anwendungsbedürfnisse anzupassen. AST 2800 ist auch kompatibel mit MATTSON VISATM Automation Software, die automatisierte Wafer-Handhabung, Datenerfassung und Prozessprotokollierung ermöglicht. Dies bietet Anwendern Flexibilität in ihrem RTP-Betrieb, so dass sie Rezepte erstellen und speichern sowie Systemparameter in Echtzeit überwachen und steuern können. Anwender können auch Rezepte für die zukünftige Verwendung importieren und exportieren und die Software kann auf individuelle Laborbedingungen zugeschnitten werden. Zusammenfassend ist 2800 Rapid Thermal Processor eine vielseitige, leistungsstarke Einheit, die für mehrere Halbleiteranwendungen geeignet ist. Es ist mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen, präziser Temperaturregelung und automatisierter Software ausgestattet und bietet Benutzern eine zuverlässige, effektive und kosteneffiziente Lösung für eine schnelle thermische Verarbeitung von Wafern.