Gebraucht MATTSON AST 3000 #293816538 zu verkaufen

MATTSON AST 3000 ist ein Rapid Thermal Processor (RTP) zur hochgenauen thermischen Verarbeitung von Halbleitersubstraten. Dieses RTP der dritten Generation beinhaltet Funktionen, die es Endanwendern ermöglichen, präzise Temperaturrampen, ausgezeichnete Temperaturgleichmäßigkeit und längere Laufzeiten bei Wachstums- und Glührezepten zu erzielen, was es zu einer idealen Wahl für Klein- und Großserienproduktion oder für schwierige Prozessentwicklungsaufgaben macht. MATTSON AST3000 verfügt über eine große, beheizte Zone, die 400mm Wafer aufnimmt, sowie eine 300mm Zone mit einem zusätzlichen Schutzring für erhöhte Temperaturgleichmäßigkeit. Das System ist in die Keco-Technologie, ein GaAs-Technologiepaket und eine digitale Steuerung integriert, die eine präzise Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Temperaturregelung sowie Flexibilität für den Betrieb schwieriger Rezepte mit komplexen thermischen Prozessen bietet. Das vollständig geschlossene vertikale Design von AST 3000 sorgt für konsistente interne Gesamtreflexionen (Total Internal Reflections, TIR) und eliminiert gängige Run-to-Run-Variationen im Zusammenhang mit offenen Plattformsystemen. Darüber hinaus ermöglicht ein optionales Gasfördersystem den Ablauf mehrerer Gasstufen während der gesamten Prozessrezepte. Das System bietet auch ein Hopräzisionsgültigkeitserklärungspaket für prä- und Postprozesstemperaturcharakterisierung und Überwachung. AST3000 ist sowohl mit statischer als auch dynamischer mechanischer Vakuumspannung konfiguriert. Das statische Vakuum hält das Substrat für eine präzise thermische Übertragung fest, während das dynamische Vakuum die Positionsgenauigkeit des Substrats während der mechanischen Verschiebung gewährleistet. MATTSON AST 3000 verfügt auch über einen proprietären FIDM-Algorithmus (Fast Internal Dose Management), der eine präzise Steuerung von schnellen Temperaturrampen und einen einzigartigen Short Period Stop and Go (SPSG) -Algorithmus für überlegene Stabilität und Wiederholbarkeit ermöglicht. MATTSON AST3000 wurde entwickelt, um die Wärmeverarbeitungseffizienz und -genauigkeit deutlich zu verbessern und gleichzeitig signifikante Produktumdrehungszeiten zu ermöglichen. Dies hilft den Betreibern, die Kosten während des gesamten Produktionsprozesses zu senken und die Wiederholbarkeit des gesamten Prozesses zu verbessern.