Gebraucht MATTSON AST 3000 #9281772 zu verkaufen

MATTSON AST 3000 ist ein Hochleistungs-Schnellwärmeprozessor, hergestellt von MATTSON Technology, Inc. Es ist eine vielseitige Ausrüstung für die thermische Verarbeitung von Halbleiterscheiben mit niedrigem und hohem Durchsatz. MATTSON AST3000 ist in der Lage, bis zu 200 Wafer pro Stunde zu verarbeiten und bietet eine präzise thermische Kontrolle für Wafer-Werkzeuge, Substrate und andere Objekte mit Prozesstemperaturen von -100 bis 1200 ° C. Das System ist in der Lage, bis zu 15 einzelne Waferpartien gleichzeitig zu verarbeiten. Es nutzt für die Bearbeitungskammer ein High-Speed SCAR (Selective Zone Atmosphere Retention) -Prinzip, das schnelle thermische Prozesszyklen bei minimalem Gasaustausch ermöglicht. AST 3000 verwendet MATTSON proprietäre PROCESSWARE Software für Prozesssteuerung, Überwachung und Datenexport. Es umfasst Funktionen wie Multi-Rezept-Ausführung, computergesteuerte Datenerfassung und Echtzeit-Überwachung. Es ist auch mit einem automatischen Temperaturregler für verbesserte Genauigkeit und Wiederholbarkeit ausgestattet. Das große Touchscreen-Display der Maschine bietet eine intuitive Benutzeroberfläche für eine einfache Steuerung. AST3000 bietet eine extrem genaue und wiederholbare thermische Steuerung und ist somit ideal für Produktionsläufe, die eine präzise Temperaturregelung, Wiederholbarkeit und Zykluszeiten erfordern. Der hohe thermische Durchsatz und die Genauigkeit in Kombination mit der intuitiven Benutzeroberfläche und dem robusten Design machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für Hersteller, die eine zuverlässige und langfristige thermische Verarbeitung suchen.