Gebraucht MATTSON AST 3000 #9390654 zu verkaufen

MATTSON AST 3000
ID: 9390654
Rapid thermal processing (RTP) systems.
MATTSON AST 3000 ist ein revolutionärer Rapid Thermal Processor (RTP), der für überlegene Durchsatz- und Kostensenkungen bei der Halbleiterverarbeitung entwickelt wurde. Mit fortschrittlicher Technologie und fortschrittlicher Automatisierungsausrüstung ist MATTSON AST3000 ein ideales Werkzeug für fortgeschrittene Anwendungsschritte wie Glühen, Diffusion, Abscheiden und Verarbeiten von Dünnschichtschichten sowie Plasmaätzen und Reinigen sowie Ein- und Zweifach-Waferbearbeitung. Das Design von AST 3000 basiert auf der modularen „Platform 3000“ -Architektur, die Ergänzungen und Upgrades ermöglicht, ohne dass ein kompletter Systemumbau erforderlich ist. AST3000 ist hochgradig konfigurierbar und bietet eine Vielzahl von Funktionen, von einer digitalen PCR-Einheit bis zur verbesserten Temperaturregelung. Es ist in der Lage, eine breite Palette von Temperaturen, von 50 ° C bis 500 ° C, so dass es für eine Vielzahl von thermischen Anwendungen geeignet. Dieses fortschrittliche thermische Design ermöglicht auch schnelleres Hochfahren und Abkühlen. MATTSON AST 3000 ist mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen, wie Übertemperaturschutzmechanismen, sowie einem Dual-Mode, temperaturgeregelten Waferliftmechanismus ausgestattet. Optional steht ein evakuierbares Load Lock zur Verfügung, das ein schnelleres thermisches Radfahren und eine verbesserte Prozesssteuerung ermöglicht. Darüber hinaus unterstützt die Plattform fortschrittliche Softwarepakete zur Überwachung von Prozessparametern und individueller Maschinenleistung. MATTSON AST3000 ist mit einer fortschrittlichen Automatisierungsmaschine ausgestattet, die Aufgaben über mehrere Systeme hinweg konsolidiert und die manuelle Arbeit in der Produktion reduziert. Der Durchsatz kann im Vergleich zu herkömmlichen manuellen Prozessen bis zu 5X erhöht werden. Insgesamt ist AST 3000 ein fortschrittliches Werkzeug, das verwendet werden kann, um mehr Durchsatz und Kosteneffizienz in Halbleiterverarbeitungsoperationen zu erreichen. Es bietet die optimale Kombination aus Leistung, Funktionen und Erschwinglichkeit.
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