Gebraucht MATTSON Hel-A4906 #9384683 zu verkaufen

MATTSON Hel-A4906 ist ein Rapid Thermal Processor (RTP), der präzise Heizung, Kühlung und Gleichmäßigkeit über Halbleiterscheiben bietet. Die Anlage liefert präzise Temperaturprofile für schnelle Prozessentwicklung und Charakterisierung. Es ist ein computergesteuertes Gerät, das auf Standard Thermal Chassis (STC) -Technologie basiert und die Einrichtung und Überwachung jeder Prozessstufe in Echtzeit ermöglicht. Hel-A4906 ist mit einer inerten Umgebung ausgestattet, um kontaminationsfreie Prozesse zu ermöglichen. Das RTP verfügt über Zwei-Zonen-Betrieb und kann Temperaturen von 20 - 800 ° C einstellen. Zwei Temperatureinstellungen, zwei Prozessdruckeinstellungen und ein breiter Temperaturrampenbereich ermöglichen präzise und reproduzierbare thermische Prozesse für alle Anwendungstypen. Das RTP ist auch mit fortschrittlicher Mikrogravitationstechnologie ausgestattet, die thermische Ungleichförmigkeiten auf der Oberfläche der Halbleiteranwendungen reduzieren soll und eine verbesserte Gleichmäßigkeit ermöglicht. MATTSON Hel-A4906 verfügt zudem über ein hochwertiges Vakuumsystem, das eine genaue Prozesssteuerung für Mittel- bis Niederdruckprozesse im Bereich von 0,00100 - 760 Torr ermöglicht. Die Vakuumeinheit umfasst eine mehrstufige Diffusions- und Turbopumpe für eine möglichst hohe Evakuierungsrate. Eine optionale zusätzliche Vakuummaschine kann in das Werkzeug integriert werden, um eine ultrahoche Vakuumverarbeitung zu gewährleisten. Die RTP-Anlage ist kompatibel mit einer Vielzahl von Qualitätskontrollwerkzeugen: Das Gerät kann mit optischen Mikroskopsystemen, In-situ-Rasterelektronenmikroskopen (SEM) und Röntgenspektrometern integriert werden. Es verfügt auch über Gasversorgung, Massenstromregler und eingebettetes Kommunikationsprotokoll für externe Anwendungen. Das Modell ermöglicht die Integration mehrerer kundenspezifischer Ressourcen, wie Pumpen, Verteiler, Ventile und Helium-Lecksucher. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen, wie einen unabhängigen Übertemperaturschutz und ein automatisches Abschaltsystem, das bei Erkennung eines sicherheitskritischen Fehlers arbeitet. Kupferblöcke werden zur Probenstabilisierung und thermischen Gleichmäßigkeit eingesetzt. Die Einheit ermöglicht auch die Integration einer zusätzlichen HF-Quelle. Insgesamt ist Hel-A4906 eine branchenführende RTP-Maschine, die eine präzise Steuerung von Heiz- und Kühlprofilen ermöglicht, um schnelle und einheitliche Prozesse zu unterstützen. Die integrierten Qualitätskontrollwerkzeuge und erweiterten Funktionen sorgen für zuverlässige Prozessleistung und Reproduzierbarkeit.