Gebraucht MATTSON HELIOS #293665736 zu verkaufen

MATTSON Helios ist ein Rapid Thermal Processor (RTP), der eine Vielzahl von thermischen Prozessen auf verschiedenen Substraten und Materialien durchführt. Helios verfügt über ein innovatives Design, das es ermöglicht, Materialien bis zu 900 ° C in wenigen Sekunden oder Minuten zu erwärmen. Es wird empfindlich entwickelt und mit strenger Prozesskontrolle und Gleichmäßigkeit über den gesamten Bereich der Waferoberfläche konstruiert. MATTSON Helios nutzt PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) und Excimer Laser-Glühtechnologien, um möglichst schnelle Heizraten ohne Kompromisse bei der Gleichmäßigkeit und Prozesskontrolle zu erreichen. Dadurch kann das Werkzeug verschiedene Substrate und Materialien mit präzisen Temperatur- und Zeitintervallen behandeln und gleichzeitig das thermische Budget minimieren. Helios verfügt auch über einen Heizkörper mit hohem Temperaturbereich, um ein Glühen bei Temperaturen bis zu 950 ° C, zwei 5kW rauscharme, hochdichte Plasmaquellen und die Fähigkeit zum Betrieb im Batch- oder Inline-RTP-Modus durchzuführen. MATTSON Helios bietet seinen Anwendern ein innovatives, schnelles und zuverlässiges Prozesswerkzeug zur präzisen Regelung von Temperatur und Zeit in einer Vielzahl von thermischen Prozessen. Sein robustes Design, eine enge Kontrolle und eine gleichmäßige Erwärmung ermöglichen ein genaues Glühen verschiedener Materialien, was zu Qualitätsprodukten führt. Seine schnellen Heizmöglichkeiten, Hochtemperaturheizer und mehrere Plasmaquellen bieten dem Benutzer die Möglichkeit, Parameter mit einer hohen Genauigkeit zu steuern. Damit ist Helios die perfekte Wahl für alle, die ein zuverlässiges, leistungsstarkes RTP mit exzellenter Prozesssteuerung suchen.