Gebraucht MATTSON Helios #293821467 zu verkaufen

MATTSON HELIOS ist ein Rapid Thermal Processor (RTP), der speziell für Prozessanwendungen in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es ist ein niedriger Druck, Hochtemperatursystem, das entworfen ist, um schnell und genau zu heizen und zu kühlen, so dass Benutzer gleichmäßig Wafer verarbeiten. Die primären Anwendungen von HELIOS umfassen schnelles thermisches Glühen, Aktivierung, Diffusion, Oxidation und Nitridierung von Halbleitermaterialien. Das System ist mit einer schnell reagierenden Hochtemperatur-Prozesskammer, Temperaturregelung, RTP-Monitor und unterstützenden Versorgungseinrichtungen ausgestattet. MATTSON HELIOS ist ein 6 Zoll, 100 mm Winkel-Höhen-Schnellwärmeprozessor. Es ist entworfen, um Wafer mit Gleichmäßigkeit durch zwei verschiedene Heizverfahren schnell zu erwärmen und zu kühlen. Die erste ist eine direkte Sichtleitungs-Heizquelle, die die Wafer von den Heizelementen direkt erwärmt. Die zweite Methode ist eine indirekte Sichtlinie, die ein Sichtfenster in das System integriert, das die Energie durchlässt und bei Bedarf wärmt oder abkühlt. Dadurch wird eine noch gleichmäßigere Erwärmung bzw. Kühlung über die Oberfläche des Wafers erreicht. HELIOS verfügt zudem über mehrere Funktionen zur genauen Temperaturüberwachung. Dazu gehören eine Echtzeit-Temperatur-Ausleseanzeige, eine thermische Flugzeit-Sonde und ein vom Anwender wählbarer Parameter für thermische Diffusivität zur präzisen Temperaturregelung. Die Flugzeitsonde misst die Zeit, die benötigt wird, bis die von den Heizelementen abgegebene Energie in den Wafer gelangt, mit der die optimale Temperatur für den gewünschten Prozess berechnet werden kann. MATTSON HELIOS verfügt auch über mehrere Funktionen, die Anwendern hochgenaue und wiederholbare Ergebnisse bieten. Dazu gehören ein Temperaturzyklus, ein Neigungszeitgeber und ein Mikrokontaminationsmonitor. Der Temperaturzykler bietet Anwendern eine bequeme Möglichkeit, den Prozess für eine verbesserte Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu durchlaufen. Der Neigungszeitgeber passt den Neigungswinkel des RTP automatisch an die für einen beliebigen Prozess erforderliche Haltezeit an. Schließlich ermöglicht der Mikrokontaminationsmonitor die genaue Erkennung von Kontaminaten während des Prozesses. Darüber hinaus ist HELIOS mit Sicherheitsmaßnahmen ausgelegt, um alle Mitarbeiter in der Nähe des Geräts sicher zu halten. Dazu gehört eine Glaskammer, die die Einheit bei erkannter Belichtung der Kammer automatisch abschaltet. Es umfasst auch Brandschutzsysteme und eine automatische Abschaltung, wenn Mikrowellen überstrahlt werden. Abschließend ist MATTSON HELIOS ein vielseitiger und zuverlässiger schneller thermischer Prozessor, der eine gleichmäßige Erwärmung und Kühlung für eine Vielzahl von Halbleiterprozessen ermöglicht. Es verfügt über ein ergonomisches Design, sorgt für Sicherheit für das Personal und bietet eine präzise Temperaturregelung für genaue und wiederholbare Ergebnisse.