Gebraucht MATTSON Helios #293829700 zu verkaufen

MATTSON HELIOS ist ein Rapid Thermal Processor (RTP), der für den Einsatz in verschiedenen fortschrittlichen thermischen Prozessanwendungen entwickelt wurde. Das Gerät ist in der Lage, eine präzise, wiederholbare Temperaturregelung in einem weiten Bereich von Temperaturen von -190 ° C bis 850 ° C bereitzustellen. Dieses leistungsstarke und flexible System eignet sich hervorragend zur Durchführung von RTP-Anneal-, Oxid-, Nitrid- und Diffusionsverarbeitung in der Halbleiter-, LED- und magnetischen Aufzeichnungsmedienindustrie. Der Rahmen von HELIOS besteht aus einer Edelstahlkammer, die an einem pneumatisch angetriebenen, vierachsigen Roboterarm befestigt ist. Der Roboterarm ist in der Lage, mehrere Wafer gleichzeitig kontrolliert und wiederholbar in die Kammer hinein- und auszubringen. Die Kammer verfügt außerdem über mehrere einstellbare Thermoelemente und Gasleitungen, die eine präzise Temperatur- und Prozesssteuerung ermöglichen. Sowohl die Kammer als auch der Roboterarm sind durch eine Reihe von Merkmalen vor Verschmutzung geschützt, darunter eine temperaturgesteuerte Luftfiltration und eine entlüftete Auspuffeinheit. Die Maschine wird mit einem computerbasierten Steuerungstool betrieben, das über eine Reihe benutzerfreundlicher grafischer Benutzeroberflächen programmierbar ist. Dadurch kann der Anwender verschiedene Betriebsparameter einstellen, darunter die maximale Glühtemperatur und die anzuwendende Leistung sowie weitere prozessspezifische Parameter. Das Asset kann auch so konfiguriert werden, dass die Prozessbedingungen während des gesamten Anneal-Zyklus überwacht, protokolliert und gemeldet werden. Der Bediener erhält detaillierte Daten, hilfreiche Visualisierungen und Warnungen, um die Prozesseinstellungen zu optimieren. MATTSON HELIOS verfügt auch über eine einzigartige Rampe-up/down-Fähigkeit, so dass das Modell schnelle thermische Prozesszyklen mit schnellen, genauen Temperaturrampen ausführen kann. Die Geräte verfügen zudem über modulare Erweiterungsfunktionen zur Unterstützung von Prozessinnovationen und -erweiterungen. Damit ist sie eine ideale Wahl für Forschungsdatenzentren und kontinuierliche Prozesssysteme. Schließlich kommt HELIOS mit mehreren Sicherheitsfunktionen, einschließlich einem Temperatur-Grenzschalter, Übertemperatursensor, Sicherheitsstopp und einem manuellen Sicherheitsschalter, der dem Bediener die Gewissheit gibt, dass sein Prozess in einem sicheren und kompetenten Betrieb ist.