Gebraucht MATTSON HELIOS #9315046 zu verkaufen

MATTSON HELIOS ist ein schneller thermischer Prozessor (auch bekannt als RTP), der in der Halbleiterherstellung verwendet wird. HELIOS wurde von MATTSON Technology entwickelt und ist eine vollautomatische thermische Verarbeitungsanlage, die in der Chipherstellung eingesetzt wird und präzise thermische Prozesse liefert, die für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterprodukte entscheidend sind. MATTSON HELIOS RTP ist für die schnelle thermische Verarbeitung verschiedener Substrate wie Silizium, III-V-Verbindungen und Breitbandspaltmaterialien konzipiert. Es bietet eine extrem schnelle thermische Bearbeitungszeit mit schnellen Temperaturübergängen und Gleichmäßigkeitsbereichen über alle Wafer. Darüber hinaus ist dieses RTP in der Lage, Hochtemperatur- und Hochtemperaturprozesse zu liefern, ideal für Anwendungen wie Dotieren, Implantation, Oxidation, Nitridation und metallorganische chemische Dampfabscheidung (MOCVD). Das robuste Design und die modulare Konfiguration des Systems können problemlos allen spezifischen Prozessanforderungen gerecht werden. HELIOS RTP ist eine kompakte und effiziente Einheit, die eine thermische Verarbeitung auf kleinstem Raum ermöglicht. Es ist mit modernsten thermischen Steuerungs- und Rückkopplungssystemen konfiguriert, um konstant wiederholbare Temperaturprofile, Genauigkeit und Front-End-Automatisierung zu gewährleisten. Darüber hinaus umfasst die Maschine einen automatisierten Front-End-Roboter mit integriertem Wafer-Handling und Optionen wie integrierte atmosphärische Temperatur- und Druckmessung und -steuerung. Das Werkzeug ist auch mit erstklassigem thermischen Oxidations- und Nitridationsmodul sowie einem ultrasauberen MOCVD-Modul für die Abscheidung von Reinmaterial ausgelegt. Es hat auch optionale Systeme für die Abscheidung von Aluminium, Tantal und Kobalt mit Tantalnitrid-Barriereschichten, die Kontamination minimieren. Das Asset verfügt auch über selbstreinigende Funktionen, hohen Durchsatz, zusätzliche Diagnosetools und Remote-Support-Funktionen. Insgesamt ist MATTSON HELIOS ein zuverlässiges und präzises RTP, das eine breite Palette fortschrittlicher Funktionen bietet, um alle Anforderungen der Halbleiterherstellung zu erfüllen. Es ist eine kostengünstige Lösung für die thermische Hochgeschwindigkeitsbearbeitung und bietet eine automatisierte Ausrichtung und Prozesssteuerung für eine schnelle, konsistente Verarbeitung.