Gebraucht MATTSON HELIOS #9378666 zu verkaufen

MATTSON HELIOS ist ein Rapid Thermal Processor (RTP), der für die automatisierte Verarbeitung einer Vielzahl von Substraten entwickelt wurde. RTP-Systeme werden in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt, darunter Elektronikfertigung, Herstellung von biomedizinischen Geräten und Herstellung von nanoelektronischen Geräten. Die RTP-Ausrüstung besteht aus mehreren Elementen, die zusammenarbeiten, um ein Substrat schnell und genau zu bearbeiten. Zu den Hauptkomponenten eines RTP-Systems gehören ein Regler, ein Vorwärmer (oder eine Vorwärmquelle), Heizplatten, Suszeptor, Vakuumfutter, Wärmetauscher und Gasförderung. Der Regler wird verwendet, um Temperaturen für jede der Komponenten einzustellen, und kann Verarbeitungsparameter wie Temperatur, Druck und Gasdurchfluss variieren. Die Steuerung stellt auch externe Schnittstellen zur Überwachung, Steuerung und Kommunikation zur Verfügung. Die Vorwärmquelle erwärmt die Substratoberfläche vor jedem Bearbeitungsschritt auf eine bestimmte Temperatur, um eine homogene Temperatur im gesamten Material zu erzeugen. Dies geschieht in der Regel durch den Einsatz von elektrischen Widerstandsheizungen, HELIOS Vorwärmquelle verwendet eine Infrarotlampe. Die Heizplatten liefern dem Substrat während des Prozesses Energie. MATTSON HELIOS verwendet Mikrowelle, Konvektion und ohmsche Erwärmung, um eine schnelle und gleichmäßige Erwärmung des Substrats zu gewährleisten. Der an der Unterseite der Heizplatten angebrachte Suszeptor dient zur Aufnahme des Substrats während der Verarbeitung. HELIOS Suszeptor verwendet keramisches Material mit hoher Wärmeleitfähigkeit für eine effiziente Wärmeübertragung. Das Vakuumfutter wird verwendet, um Suszeptor und Substrat an Ort und Stelle zu halten, sowie Vakuumdichtungen bereitzustellen, um eine Vakuumkammer zu schaffen. MATTSON HELIOS verwendet zur präzisen Ausrichtung des Substrats eine 3-Punkt-Stützvakuumfuttereinheit. Der Wärmetauscher kühlt die Temperatur des Substrats nach der Verarbeitung ab und verhindert eine thermische Beschädigung oder Überbearbeitung der Proben. HELIOS Wärmetauscher verwendet eine Kombination aus Konvektion, Leitung und Strahlungskühlung für eine effiziente Kühlung. Schließlich stellt die Gasfördermaschine der Prozesskammer Inertgase oder Reaktivgase zur Verfügung, um die richtige Atmosphäre für den Prozess zu gewährleisten. MATTSON HELIOS verwendet ein mehrstufiges Gasförderwerkzeug, das eine präzise Steuerung von Durchfluss, Druck und Art der verwendeten Gase ermöglicht. HELIOS ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges RTP für schnelle und präzise Substratverarbeitung. Die Kombination aus Vorwärmquelle, Heizplatten, Suszeptor, Vakuumfutter, Wärmetauscher und Gaszufuhr macht es zu einer idealen Lösung für die Präzisionssubstratverarbeitung.