Gebraucht MATTSON HELIOS #9382889 zu verkaufen
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ID: 9382889
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
Rapid Thermal Processors (RTP), 12"
2004 vintage.
MATTSON HELIOS ist ein von MATTSON Technology, Inc. Es ist ein großflächiges System, das für eine breite Palette fortschrittlicher Metallisierungs- und Wafer-Fertigungsaufgaben entwickelt wurde. Diese vielseitige und leistungsstarke Maschine wird umfassend in der Herstellung von integrierten Schaltungen, Mikroelektronik und Nanodesigns eingesetzt. Der Prozessor verwendet fortschrittliche schnelle thermische Verarbeitungstechnologie, um einen hohen Durchsatz zu erreichen. Es bietet beispiellose Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Stabilität während der gleichzeitigen Bearbeitungsstufen. Das System umfasst eine große Kammer, die 550 mm oder 200 mm Wafer aufnehmen kann. Es verfügt auch über eine unverwechselbar entworfene, Dual-Zone-Bearbeitungsarchitektur, die den Zeitaufwand reduziert, um jede Metallisierungs- und Substratherstellungsaufgabe abzuschließen. HELIOS verwendet einen automatisierten Prozesscontroller (APC), der mit einer leistungsstarken Design-Suite und einer benutzerfreundlichen Oberfläche ausgestattet ist. Dies ermöglicht es Benutzern, Rezepte zu erstellen und zu speichern, Parameter zu optimieren und Produktionsschritte in kurzer Zeit einfach zu überwachen. Der Prozessor ist für die Verwendung eines Gasgemisches aus Sauerstoff, Stickstoff und anderen Elementen zur schnellen thermischen Verarbeitung ausgelegt. Für zusätzlichen Komfort verfügt es auch über eine eingebaute Saugvorrichtung, die den Gasverbrauch erheblich reduziert. Der Prozessor ist modular aufgebaut und ermöglicht es Benutzern, je nach Anwendung andere Module zu integrieren. Diese vielseitige Maschine eignet sich für eine Vielzahl von Prozessen wie chemisch-mechanisches Polieren (CMP), Spin-on-Wafer-Herstellung, Galvanik, Diffusion, Oxidation, Nitridation und Wafer-Tests. MATTSON HELIOS unterstützt auch eine Vielzahl zusätzlicher Optionen, so dass Benutzer das System an spezifische Anforderungen anpassen können. Insgesamt ist HELIOS ein leistungsfähiger und vielseitiger schneller thermischer Prozessor, der den unterschiedlichen Anforderungen an fortschrittliche Metallisierungs- und Waferherstellungsaufgaben gerecht wird. Es bietet ausgezeichnete Genauigkeit, Produktivität und Flexibilität und ermöglicht eine hohe Geschwindigkeit und eine kostengünstige Verarbeitung.
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