Gebraucht MATTSON HELIOS #9382891 zu verkaufen

MATTSON HELIOS ist ein schneller thermischer Prozessor, der direkte Erwärmung verwendet, um hochpräzise thermische Behandlungen durchzuführen. Es wurde entwickelt, um kleine und große Chargen verschiedener Halbleitersubstrate schnell und effizient zu verarbeiten. HELIOS bietet erweiterte Möglichkeiten zum Glühen, Sintern, Kleben und Härten von Materialien, ohne dass in situ Vakuum benötigt wird. Mit mehreren Stationen ist MATTSON HELIOS vielseitig einsetzbar für Pilot- und Produktionsanwendungen. HELIOS 'Direct Thermal Energy Delivery Equipment (DTED) verwendet mehrere innovative Technologien, um präzise und qualitativ hochwertige Substratbehandlungen zu gewährleisten. Seine Advanced Planar Heating (APH) Technologie verteilt gleichmäßig Wärme über die Substratoberfläche, während sein Three-Point Thermal Control (TPTC) System für höchste Wiederholbarkeit sorgt. Die TPTC-Technologie ermöglicht auch präzise Temperaturprofile während des Behandlungsprozesses. MATTSON HELIOS bietet große Flexibilität für eine genaue und wiederholbare Temperaturregelung. Der Prozesscontroller ist mit programmierbaren Rampen und Multi-Lesepunkten ausgestattet, was die Programmierung vereinfacht und zusätzliche Hardware entfällt. Das Gerät ist auch selbst entwickelt, um wichtige Maschinenparameter wie Kammerdruck, Sauerstoffgehalt und Kühlrate zu überwachen. Dies gewährleistet die Einhaltung kritischer Qualitätskontrollstandards und kritischer thermischer Verarbeitungsparameter. Darüber hinaus ist HELIOS für den schnellen Aufbau und die Substratbelastung konzipiert. Die erweiterten Integrationsmöglichkeiten ermöglichen den automatischen Austausch von Substraten. Seine unabhängigen Kassettenspeicherfunktionen ermöglichen es, Prozessparameter für zukünftige Referenzen einfach zurückzurufen. Das Design des Schrankes und der Schublade hilft bei der Organisation der Arbeitsbelastung und bietet einen ordentlichen, organisierten Ansatz für ein geschäftiges thermisches Bearbeitungslabor. MATTSON HELIOS kann je nach verwendetem Substrat für bis zu drei Stationen konfiguriert werden. Es ist in mehreren Kammerkonfigurationen erhältlich und bietet eine kostengünstige Wartung. Zusammenfassend ist HELIOS eine hochmoderne schnelle thermische Verarbeitung, die präzise thermische Behandlungen mit ausgezeichneter Wiederholbarkeit und Genauigkeit bietet. Es eignet sich für kleine und mittlere Produktionsabläufe und bietet Anwendern die Möglichkeit, Temperaturprofile einfach zu programmieren und wichtige Modellparameter zu überwachen. Seine effizienten Konstruktions- und Integrationsmöglichkeiten ermöglichen eine schnelle Einrichtung und Substratbelastung.