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MATTSON HELIOS
ID: 9390687
Rapid Thermal Processors (RTP).
MATTSON HELIOS ist ein Rapid Thermal Processor (RTP), der entwickelt wurde, um schnelle Glüh- und Niedertemperatur-Reflow-Prozesse an MEMS-Geräte und andere ICs zu liefern. Mit Hilfe der RTA-Technologie (Rapid Thermal Annealing) ist HELIOS in der Lage, eine kontinuierliche thermische Kontrolle mit höchster Genauigkeit in einem kleinen und robusten Paket zu gewährleisten. Es wurde entwickelt, um thermische Prozesse mit Temperaturen bis zu 1200 ° C und einer Zykluszeit bis zu 4 Sekunden zu liefern. MATTSON HELIOS bietet eine sehr hohe Prozesswiederholbarkeit und -genauigkeit mit dem Potenzial, Prozessgrößen wie Temperatur und Zeit innerhalb von +/- 0,5% zu liefern. Auch die Gleichmäßigkeit der thermischen Profile wird maximiert, wobei Standardprozesse eine Temperaturgleichförmigkeit von +/- 2 ° C erreichen. Diese Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit ist mit anderen RTPs schwer zu erreichen und macht HELIOS zu einem idealen Werkzeug für viele Prozessanwendungen. MATTSON HELIOS verfügt über ein integriertes, computergesteuertes System, mit dem der Benutzer den gesamten thermischen Prozess anpassen und steuern kann. Der Bordcomputer verfügt über eine einfach zu bedienende grafische Oberfläche, die schnellen Zugriff auf alle Prozessoptionen bietet und gleichzeitig Sicherheitsfunktionen bietet, die Benutzer und Geräte schützen. Das System umfasst auch benutzerdefinierte Rezepte, einen Prozessmonitor und eine Datenerfassung, Beispieldatenbanken und Prozessprotokollierung zur Unterstützung einer erweiterten Prozesssteuerung. Die Robustheit von HELIOS bietet auch in anspruchsvollsten Betriebsumgebungen hohe Zuverlässigkeit. Das System ist für den Betrieb in rauen Umgebungen konzipiert und ist stoß- und vibrationsgeprüft gemäß MIL-STD-810F. Die vakuumdichte Konstruktion bietet zudem eine hervorragende Wärmedämmung und mechanische Stabilität und macht MATTSON HELIOS zu einer vertrauenswürdigen Prozesslösung für die Messung und Prüfung kleiner Geräte. Insgesamt bietet HELIOS eine robuste und zuverlässige Lösung für Forschung und kleine Produktionslinien. Die thermische Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit machen es auch eine perfekte Wahl für MEMs und andere ICs Anwendungen. Mit seiner Hochleistungsprozessautomatisierung und fortgeschrittener Benutzerschnittstelle ist MATTSON HELIOS der ideale schnelle Thermalverarbeiter für viele Anwendungen.
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