Gebraucht MATTSON Millios #293647674 zu verkaufen
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ID: 293647674
Weinlese: 2008
Flash Rapid Thermal Processor (FRTP)
EFEM
MPSU Module
Service module
Process module
SCCT Rack
VFD Module
Power vaccine
Top side control
Storage rack
Voltage box
Accessories
2008 vintage.
MATTSON Millios ist ein schneller thermischer Prozessor zur schnellen Erwärmung, Kühlung und Verarbeitung von Halbleiterscheiben und Substraten. Es ist in der Lage, Temperaturen bis zu 1200 ° C in unter 0,5-Sekunden zu erreichen, was die Fähigkeit zur Durchführung von Temperaturzyklen auf einer Vielzahl von Materialien und deren Epi-Schichten. Es verwendet ein MOSFET-basiertes Heizsystem, das schnelle Hoch-/Abwärtsgeschwindigkeiten sowie eine präzise Temperaturregelung (± 1 ° C) ermöglicht. Millios wird in einer Vielzahl von Anwendungen wie Oxidation und Nitridation, Oxidationsemulationen, Zähmen und Glühen, Metallschicht Ausrichtung und Burn-in, und andere Herstellungsprozesse verwendet. MATTSON Millios ist mit einer Reihe von Innovationen konzipiert, die eine verringerte Wärmeauslenkung und tiefere Temperaturgradienten sowie reduzierte induzierte Spannungen und verbesserte Oxidationsprofile bieten. Diese Eigenschaften helfen, den thermischen Prozess zu verfeinern und überlegene Materialien zu schaffen, die für die unterschiedlichen Bedürfnisse der modernen Mikroelektronik gut geeignet sind. Die Maschine ist mit einer Kammer mit kontrollierter Atmosphäre ausgestattet, die eine sichere atmosphärische Umgebung für eine noch weitere Temperaturregelung bietet. Die Kammer kann bei Bedarf für Vakuum- oder Inertgasatmosphärenbäder unter Druck gesetzt/entspannt werden. Darüber hinaus verfügt die Maschine über ein hochmodernes Kühlsystem mit hervorragenden Kühlfunktionen und maximaler Kühlreaktionszeit. Millios bietet eine erweiterte integrierte Benutzeroberfläche, die auf einer neuen, einfach zu bedienenden und konfigurierbaren grafisch unterstützten Unterstützung basiert. Dies hilft Bedienern, schnell und einfach ihren gewünschten thermischen Prozess für die besten Ergebnisse einzurichten. Als thermischer Prozessor ist MATTSON Millios äußerst zuverlässig und wird durch ein beispielloses Wartungs- und Servicenetz unterstützt. Sie tragen komplette Ersatzteilkits, die einen schnellen und einfachen Austausch mit minimalen Ausfallzeiten ermöglichen. Insgesamt ist Millios ein anspruchsvoller und innovativer schneller thermischer Prozessor, der mit Funktionen ausgestattet ist, die den Anwendern eine überlegene Leistung bieten und gleichzeitig absolute Flexibilität und Präzision bieten. Es wurde entwickelt, um genaue, wiederholbare und Erträge zu liefern, indem es präzise, zuverlässige Heiz- und Kühlfunktionen bietet. Dieses direkte Heiz-/Kühlsystem in Verbindung mit seiner fortschrittlichen integrierten Benutzeroberfläche und einer umfassenden Wartungsfunktion sorgt dafür, dass MATTSON Millios auch in Zukunft einen zuverlässigen und sicheren Betrieb bietet.
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