Gebraucht MATTSON Millios #9359557 zu verkaufen

MATTSON Millios ist ein Rapid Thermal Processor (RTP), der für eine Reihe von Operationen in der Halbleiter- und LED-Industrie entwickelt wurde. Es verwendet fortschrittliche thermische Technologien, um verbesserte Prozessgenauigkeit, Wiederholbarkeit und Einheitlichkeit zu gewährleisten. Diese Ausrüstung ist in der Lage, bis zu sechs Zonen Temperaturregelung zur Verfügung zu stellen und kann eine Reihe von Operationen durchführen, einschließlich Diffusion, Oxidation und thermisches Glühen. Das System ist mit einer Stickstoffreinigung ausgestattet, um Oxidations- und Vorformungsprozesse wie Glühen und Bor-Implantation auf Wafern zu reduzieren. Es kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 300 mm aufnehmen und Temperaturen von -50 Grad Celsius bis zu 1300 Grad Celsius bereitstellen. Das Gerät verfügt außerdem über ein einzigartiges Rasterarmdesign, das bei der gleichmäßigen Erwärmung und Kühlung der Wafer hilft. Dies ermöglicht eine präzise und genaue Temperaturprofilierung. Millios ist zudem mit einer Echtzeit-Prozessüberwachungsmaschine ausgestattet, die der Waferbearbeitung weitere Präzision und Wiederholbarkeit bietet. Darüber hinaus verfügt es über ein integriertes automatisiertes Be- und Entlademodul, das den Be-/Entladevorgang optimiert und eine sicherere und schnellere Waferübertragung ermöglicht. Darüber hinaus bietet dieses Tool eine Vielzahl von Optionen, um die allgemeine Benutzererfahrung zu verbessern. Dazu gehört ein Rezept-Manager-Asset, mit dem Benutzer Verarbeitungsrezepte speichern und abrufen und verschiedene Rezepte mit minimalem Aufwand verwalten können. Es verfügt auch über ein Online-Handbuch, das detaillierte Anweisungen zum Einrichten, Bedienen und Beheben häufiger Probleme enthält. Dieses Modell eignet sich für eine Reihe von Märkten wie LED-Fertigung, MEMS und andere fortschrittliche Halbleiteranwendungen. Es bietet verbesserte Sicherheitsmerkmale durch eine Verriegelungseinrichtung, die den Betrieb bei Auftreten eines Fehlerzustands verhindert. Es erhöht auch die Prozesskontrolle, indem die tatsächliche Waferstelle während der Verarbeitung angezeigt wird. Insgesamt ist MATTSON Millios RTP ein hochentwickeltes und zuverlässiges Waferungssystem, das präzise, wiederholbare und gleichmäßige thermische Behandlungen bietet. Es bietet eine Reihe von Funktionen und Vorteilen für den Anwender, insbesondere in Prozessen, die hohe Präzision und Gleichmäßigkeit erfordern. Darüber hinaus reduziert es deutlich Abfall bei gleichzeitiger Erhöhung der Prozesseffizienz, so dass es eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Branchen.