Gebraucht MODULAR PROCESS TECHNOLOGY / MPTC RTP-600S #293595367 zu verkaufen

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ID: 293595367
Weinlese: 2002
Benchtop thermal processing system 2002 vintage.
MODULARE PROZESSTECHNOLOGIE/MPTC RTP-600S ist ein fortschrittlicher schneller thermischer Prozessor, der von Halbleiterherstellern und Forschungslabors verwendet wird, um Filme auf großen Wafern zu glühen, zu dopen und anzubauen. MPTC RTP-600S ist sowohl als eigenständiges Werkzeug als auch als Teil größerer thermischer Prozesssysteme im Wafermaßstab konzipiert. Es verwendet mehrere, unabhängig gesteuerte Kammerzonen, um Proben mit einem Durchmesser von bis zu 300 mm zu verarbeiten. Seine schnellen Rampen-up/Down-Funktionen machen es für viele Arten von Hochtemperaturprozessen gut geeignet. MODULAR PROCESS TECHNOLOGY RTP-600S kommt mit einer leistungsstarken 8kW IR-Heizquelle, die Temperaturen bis zu 1250oC erreichen kann. Darüber hinaus verwendet es eine proprietäre reflektierende Heizung, die es dem System ermöglicht, schnell nach oben oder unten zu rampen und dabei gleichmäßige Temperaturen über den gesamten Wafer aufrechtzuerhalten. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine intelligente Wärmesteuerungssoftware, mit der Anwender sowohl die Rampenrate als auch die maximale Temperatur für optimale Ergebnisse konfigurieren können. Darüber hinaus verwendet RTP-600S eine patentierte Abkühltechnik, die die Abklingzeit der Prozesskammer auf weniger als eine Sekunde minimiert. Dies sorgt für eine schnelle Prozesswende bei höherem Durchsatz. Die Maschine ist auch mit mehreren Sensoren und einer SPS-basierten Benutzeroberfläche ausgestattet, die eine genaue Überwachung und Steuerung des thermischen Prozesses ermöglicht. Schließlich wurde die MODULARE PROZESSTECHNIK/MPTC RTP-600S unter Berücksichtigung der Sicherheit konzipiert. Es kommt mit Brandmelde- und Unterdrückungssystemen sowie einem Notabschaltwerkzeug. Darüber hinaus verfügt die Abgasfiltration über einen eingebauten Aktivkohlefilter, der Gefahrstoffe aus der Prozessumgebung entfernt. Insgesamt ist MPTC RTP-600S eine ausgezeichnete Wahl für jeden Halbleiterhersteller oder Forschungslabor, der nach einem zuverlässigen und schnellen schnellen thermischen Prozessor sucht. Seine leistungsstarke Heizquelle, schnelle Rampenraten und hervorragende Sicherheitsfunktionen machen es zu einer idealen Wahl für die Hochtemperaturverarbeitung im Wafer-Maßstab.
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