Gebraucht MODULAR PROCESS TECHNOLOGY / MPTC RTP-600S #293768994 zu verkaufen

MODULAR PROCESS TECHNOLOGY/MPTC RTP-600S ist ein vielseitiger Rapid Thermal Processor (RTP), der für eine Vielzahl von Prozessanwendungen in der Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Dieses hochpräzise Werkzeug wurde speziell entwickelt, um die Temperatur kleiner Substrat- und Wafer-Proben schnell auf bis zu 1000 ° C zu erhöhen und eine zuverlässige Prozessleistung mit schnellen Zykluszeiten und ausgezeichneter Wiederholbarkeit zu gewährleisten. MPTC RTP-600S verwendet die fortschrittliche RTP-Technologie (Rapid Thermal Process), um qualitativ hochwertige Ergebnisse zu erzielen. Das Gerät verwendet elektromagnetische Induktionsheiztechnik, die das Substrat schnell erwärmt, um die Zykluszeit unter Vermeidung der thermischen Spannungen und thermischen Gradienten im Zusammenhang mit Wärmeleitsystemen zu reduzieren. Die schnelle thermische Verfahrenstechnik wurde speziell für Halbleiteranwendungen entwickelt und bietet eine optimale Steuerung der Temperaturprofile des beheizten Substrats. MODULAR PROCESS TECHNOLOGY RTP-600S ist ein geschlossenes Prozesssystem mit integrierter Datenerfassungseinheit und vollständiger Temperaturüberwachung und -steuerung. Die Maschine kann verwendet werden, um eine Vielzahl von Prozessen wie Glühen, Oxidation, Nitridation, Implantation und andere Diffusionsprozesse durchzuführen. Das Werkzeug hat auch optionale Merkmale wie die Fähigkeit, Lichtintensität aus dem Wafer zu messen und die Fähigkeit, sowohl in einer inerten als auch in einer reaktiven Umgebung zu heizen. RTP-600S wurde entwickelt, um hohe Zuverlässigkeit und robuste Leistung mit ausgezeichneter Prozesswiederholbarkeit und schnellen Zykluszeiten zu bieten. Das Asset verfügt über einen benutzerfreundlichen Controller, mit dem Bediener schnell und einfach Rezepte programmieren und den Prozess überwachen können. Das Modell verfügt auch über einen eingebauten Waferlader und automatisierte Entladeausrüstung, die es einfach macht, mehrere Wafer in einem einzigen Lauf zu betreiben. MODULARE PROZESSTECHNIK/MPTC RTP-600S ist ein vertrauenswürdiger Partner für Halbleiterhersteller. Mit seiner benutzerfreundlichen Bedienung und robusten Leistung bietet das System zuverlässige Prozessleistung und schnelle Zykluszeiten mit ausgezeichneter Wiederholbarkeit. Es ist die perfekte Lösung für Unternehmen, die eine effiziente und zuverlässige RTP-Einheit suchen, die die Zykluszeit bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verkürzen kann.