Gebraucht MODULAR PROCESS TECHNOLOGY / MPTC RTP-600S #9241026 zu verkaufen

MPTC/MPT MODULAR PROCESS TECHNOLOGY/MPTC RTP-600S ist ein schneller thermischer Prozessor für hocheffiziente thermische Glühprozesse. MPTC RTP-600S ist mit einer einzigen Hochgeschwindigkeitskapillare ausgestattet, die einen ultraschnellen Glühprozess ermöglichen kann. MODULARE PROZESSTECHNOLOGIE RTP-600S erwärmt das Halbleitersubstrat oder Wafer vom Boden der Prozesskammer mit zwei Quarzlampen-Arrays und erreicht schnelle thermische Glühtemperaturen (RTA) innerhalb von Sekunden. RTP-600S verwendet einen linearen Heizmechanismus, der eine gleichmäßige Erwärmung und Kühlung entlang der Waferoberfläche ermöglicht. MODULARE PROZESSTECHNIK/MPTC RTP-600S ermöglicht eine beispiellose Prozesskontrolle und Genauigkeit durch das patentierte „radiale Deep-Spot“ -Design, das eine präzise Einstellung des thermischen Glühprofils ermöglicht. MPTC RTP-600S bietet eine hervorragende Prozessflexibilität, um den Anforderungen einer Vielzahl von Substraten und Anwendungsanforderungen gerecht zu werden. Dieses Verfahren unterstützt auch eine Vielzahl von Wafern wie Silicium, Siliciumcarbid und Galliumarsenid. Zusätzlich können Wafergröße und -form je nach Anwendungsanforderungen angepasst werden. Das lineare Heizblockdesign ist auf einen kompakten Waferträger abgestimmt, der ein einfaches und zuverlässiges Be- und Entladen von Wafern ermöglicht. MODULARE PROZESSTECHNOLOGIE RTP-600S Controller sind in der Lage, mehrere Prozessanforderungen zu bearbeiten und bieten eine hervorragende Kontrolle über die Prozessparameter wie Temperatur und Zeit. RTP-600S ist auch mit einem integrierten Kühlventilator integriert, der die Warmfleckentemperatur niedrig hält. Dieser integrierte Ventilator und die Verwendung von luftgekühlten Heizungen helfen, die thermische Zykluszeit zu reduzieren und die thermische Verzerrung zu verringern. MODULARE PROZESSTECHNOLOGIE/MPTC RTP-600S Prozesskammer ist vakuumversiegelt, so dass nahe hermetische Dichtungen geschaffen werden können, um Gas- und Feuchtigkeitsinfiltration zu verhindern und Feuchtigkeit während der Verarbeitung von den Wafern fernzuhalten. Das Verfahren beinhaltet auch eine Bordgaszufuhr und eine Abgasanlage, um der Prozesskammer kontrollierte Mengen an Prozessgas zuzuführen. MPTC RTP-600S ist auf maximale Zuverlässigkeit und Robustheit ausgelegt und kann über 500 wiederholbare thermische Zyklen durchführen, ohne dass eine Präzisionsausrichtung oder eine spezielle Prozesseinrichtung erforderlich ist. Darüber hinaus folgt die MODULARE PROZESSTECHNIK RTP-600S Sicherheitsrichtlinien und ist mit mehreren Sicherheitsprotokollen zertifiziert.