Gebraucht MPTC RTP-600XP #168733 zu verkaufen
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ID: 168733
Rapid thermal processor
Specifications:
Gases: GN2, PN2, O2
Substrate: 2" Sapphire wafer
(2) MFC Controlled gas lines
With Pyrometer and type KTC
3Phase, 380V, 60Hz
Includes:
6" OD
(4) 2" Pocked silicon carbide coated graphite susceptor
For processing (4) 2" Sapphire wafer
Quartz tube
4"-6" Wafer tray
Currently crated.
MPTC RTP-600XP ist ein hochmoderner Rapid Thermal Processor (RTP), der den strengen Anforderungen industrieller und fortschrittlicher Forschungsanwendungen gerecht wird. Es wurde vollständig für erhöhte Gleichmäßigkeit, ausgezeichnete thermische Stabilität und minimierte Werkzeugausfallzeiten optimiert. Es verfügt über einzigartige Mehrzweckfunktionen, die es ermöglichen, in einer extremen Vielfalt von Anwendungen wie DRAM-Abscheidung, Hochtemperaturhärtung, schnelles Glühen und dielektrische Materialfüllung verwendet werden. Das Gerät verfügt über ein modernes Direct Plasma Source Equipment (DPPS), das es zuverlässiger und effizienter macht als viele andere Verarbeitungssysteme im Feld. Dieses System ermöglicht dem schnellen thermischen Prozessor, Temperaturen bis zu 800 ° C stetig und schnell zu erreichen, während es eine präzise Plasmakontrolle und eine hohe Gleichmäßigkeit während des gesamten Prozesses ermöglicht. Darüber hinaus verfügt das Gerät auch über mehrere erweiterte Sicherheitsfunktionen wie Positionserfassung, Thermoelementsteuerung, Gasregelung und hochgenaue Temperaturregelung. RTP-600XP umfasst eine Reihe von Modulen, von denen jedes eine bestimmte Aufgabe zur Benutzerfreundlichkeit ausführen kann. Die thermische Zone ermöglicht eine gleichmäßige Einwirkung von Heizung und Kühlung, während die Vakuumkammer eine genaue Ausrichtung des Substrats gewährleistet. Zusätzlich ermöglichen die Naßätzkammern die Reinigung und Ätzung von Substraten. Das Gerät verfügt über erweiterte Algorithmen und Anzeigen, die es dem Benutzer ermöglichen, ihren Prozess einfach anzuzeigen und zu steuern. Der Substratpositionierer ist verstellbar und bietet Flexibilität im Betrieb. Das Gerät ist einfach zu bedienen und zu warten, mit einem robusten Aufbau und Material Make-up. MPTC RTP-600XP ist die perfekte Wahl für jede industrielle oder fortschrittliche Forschungsanwendung. Die direkte Plasmaquelle, die flexible modulare Maschine und die Genauigkeit machen sie zu einem der zuverlässigsten und effizientesten thermischen Prozessoren, die heute auf dem Markt erhältlich sind. Sie liefert nicht nur die für eine Vielzahl von Anwendungen erforderliche Leistung und Genauigkeit, sondern auch in kompakter und leicht zu handhabender Form.
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