Gebraucht NEWYOUNG RTA-150H-SP1 #9134152 zu verkaufen

NEWYOUNG RTA-150H-SP1 ist ein schneller thermischer Prozessor, der in der Lage ist, genaue, zuverlässige und wiederholbare thermische Zyklen für eine breite Palette von Wafergrößen zu liefern. Es wurde entwickelt, um die Anforderungen aller Halbleiterherstellungsprozesse zu erfüllen, einschließlich Wafer-Würfel, Wafer-Herstellung und Wafer-Ebene Montage. Es handelt sich um eine umfassende thermische Verarbeitungslösung, die ideal für großvolumige und fortschrittliche Anwendungen wie die Herstellung von Hochleistungs- oder Geräten mit geringer Leistung geeignet ist. RTA-150H-SP1 verfügt über eine Mehrzonen-Temperaturregeleinrichtung, wobei jede Zonentemperatur schnell kontrollierbar ist und einheitliche und wiederholbare Ergebnisse ermöglicht. Der Prozessor ist mit einem Dual-Zone-Zuführsystem zur manuellen oder automatischen Wafer-Sortierung vor der thermischen Verarbeitung ausgestattet. Dieses Gerät ermöglicht eine präzise Takt- und Zonensteuerung beim Be- und Entladen von Wafern und sorgt für Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Mit der Dual-Zone-Zuführmaschine kann die Maschine anhand der Wafergröße automatisch den optimalen thermischen Zyklus auswählen. Die Maschine enthält auch ein Fünf-Sensor-Schutzwerkzeug, das Überhitzung oder Unterkühlung von Wafern verhindert und eine optimale Temperaturgenauigkeit und Wiederholbarkeit gewährleistet. NEWYOUNG RTA-150H-SP1 hat ein Prozesskammervolumen von 300 Litern und einen Prozessdruckbereich von 1-10 Torr. Es bietet ein einstellbares Prozessfenster mit variablem Temperaturbereich von 20-250 ° C, optional bis 700 ° C. Der programmierbare Rampenratenbereich beträgt 30-600 ° C/Sekunde und beinhaltet dynamische Temperaturbegrenzer und Hysterise für eine verbesserte Temperaturwiederholbarkeit. Der anpassbare Prozesscontroller speichert bis zu 10 Programme mit Prozessparametern von bis zu 500 Schritten. Die Maschine verfügt über eine optionale ferngesteuerte Io-Link-Steuerung, die eine Prozessüberwachung und Datenerfassung von Temperaturen, Drücken und Gasströmen von außerhalb der Prozesskammer ermöglicht. Insgesamt ist RTA-150H-SP1 eine zuverlässige und robuste Wärmebearbeitungslösung, die Genauigkeit sowie Flexibilität für eine breite Palette von Parametern bietet. Das separate Dual-Zone-Feeder-Modell sorgt für Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit bei der Wafer-Level-Verarbeitung, während die fortschrittliche Fünf-Sensor-Schutzausrüstung für optimale Temperaturgenauigkeit und Wiederholbarkeit sorgt. Mit seinem einstellbaren Prozessfenster mit variablem Temperaturbereich und dem anpassbaren Prozessregler ist dieser Prozessor eine großartige Option für verschiedene Anwendungen, einschließlich der Produktion von Geräten mit hoher Leistung oder niedriger Leistung.