Gebraucht NPS RHP150 Plus #293603754 zu verkaufen
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NPS RHP150 Plus ist ein Rapid Thermal Processor (RTP), der speziell für Serienanwendungen entwickelt wurde. Es ist die neueste NPS-Linie von Rapid Thermal Processing-Produkten mit verbesserter thermischer Gleichmäßigkeit und Kammerkapazität sowie verbesserter Prozesskontrolle und optimierter thermischer Produktivität. RHP150 Plus ist eine kammerbasierte RTP-Plattform mit vier unabhängig voneinander gesteuerten Zonen für eine Vielzahl von thermischen Prozessen wie Wafer und WLCSP-Glühen, Dünnen und Gettern. Jede Zone wird von einem Paar leistungsfähiger, parallel montierter Quarzkühlkörper angetrieben, und das System wird mit digitalen Temperaturreglern auf einer konstanten Temperatur gehalten. Die Heizelemente sind für einen zuverlässigen und stabilen Betrieb mit kurzer Rampenzeit und umfangreicher Kopffreiheit für höhere thermische Prozesse ausgelegt. NPS RHP150 Plus ist mit benutzerfreundlichen Funktionen entworfen, um manuelle Eingriffe zu minimieren und Verarbeitungszeit zu minimieren, so dass es für die Massenproduktion geeignet ist. Ein integriertes Wafer-Transportsystem ermöglicht ein schnelles, wiederholbares Be- und Entladen von Wafern, während ein fortschrittlicher Allen-Bradley SPS-Controller eine benutzerfreundliche Steuerung aller thermischen Prozesse ermöglicht. Darüber hinaus bietet NPS eine breite Palette von Softwarepaketen zur Optimierung der thermischen Leistung und zur Erleichterung der interaktiven Prozessentwicklung. RHP150 Plus wurde auch entwickelt, um eine bessere Prozesskontrolle und Einheitlichkeit als konventionelleProduktions- RTP-Systeme zu bieten. Ein Drei-Punkte-Zonen-Temperaturprofil wird verwendet, um die Gleichmäßigkeit in der gesamten Kammer zu gewährleisten, die Variabilität erheblich zu verringern und die Notwendigkeit von thermischen Behandlungen nach RTP zu eliminieren. Darüber hinaus wird die Hochgeschwindigkeits-Infrarot-Bildgebung zur Echtzeit-Überwachung der Wafertemperatur während des thermischen Prozesses eingesetzt, was eine schnelle und genaue Prozessüberprüfung ohne Störung der Kammerumgebung ermöglicht. NPS RHP150 Plus ist eine ideale Wahl für Serienanwendungen und bietet konsistente, wiederholbare thermische Prozesse bei gleichzeitiger Reduzierung der Arbeitsbelastung und der Kosten im Zusammenhang mit herkömmlicher Batch-thermischer Verarbeitung. Mit seinen fortschrittlichen Eigenschaften und Flexibilität eignet sich RHP150 Plus perfekt für die Serienfertigung kritischer thermischer Komponenten.
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