Gebraucht NPS RHP440 #293766899 zu verkaufen
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NPS RHP440 Rapid Thermal Processor (RTP) ist eine fortschrittliche thermische Verarbeitungsanlage, die in Halbleiterproduktionsprozessen verwendet wird. Es ist in der Lage, einen Wafer schnell und präzise auf Temperaturen zwischen -40 ° C und 600 ° C in wenigen Sekunden zu zyklieren, was schnelle thermische Glüh- und Diffusionsprozesse ermöglicht. NPS RHP 440 ist ein horizontaler thermischer Prozessor, der eine hohe Temperaturgleichmäßigkeit auf der Waferoberfläche mit einer maximalen Temperaturgleichförmigkeit von ± 3 ° C über seinem 4 "Siliziumwafer bietet. Es ist mit einem Laserinterferometer ausgestattet, das eine hochpräzise thermostatische Steuerung bietet und eine wiederholbare Temperaturleistung auf der Oberfläche des Siliziumwafers ermöglicht. RHP440 ist auch so konzipiert, dass sie in eine andere Prozessausrüstung integriert werden kann, wie zum Beispiel Ätzen oder Abscheiden. RHP 440 enthält ausgefeilte Sicherheitsfunktionen zum Schutz von Personal und Ausrüstung. Es ist mit einem Thermoelement-Array ausgestattet, um die Oberflächentemperatur des Silizium-Wafers während des schnellen Wärmezyklus zu überwachen, und einem computerautomatischen Verriegelungssystem, das das Gerät automatisch abschaltet, wenn unsichere Bedingungen erkannt werden. Darüber hinaus verfügt die Maschine über mehrere Temperatur- und Drucksensoren, um plötzliche Änderungen an der Umgebung zu erkennen und den Bediener zu warnen. NPS RHP440 verfügt über eine Reihe von Funktionen und Vorteilen, die es zu einer überlegenen Wahl für Halbleiterproduktionsprozesse machen. Es hat eine ultra-niedrige thermische Latenzzeit von nur 30 Millisekunden, so dass schnelle thermische Zyklen enge Produktionszyklen erfüllen. Darüber hinaus verfügt das Tool über eine erweiterte intrinsische Zonen-Targeting-Komponente, die eine verbesserte Temperaturgleichmäßigkeit und Genauigkeit für die Halbleiterproduktionsprozesse bietet. Darüber hinaus ist es durch seine hochwertigen Komponenten und Konstruktion äußerst zuverlässig und langlebig. Alles in allem ist NPS RHP 440 RTP ein fortschrittliches thermisches Verarbeitungsmodell, das die anspruchsvollsten Anforderungen der Halbleiterproduktionsprozesse erfüllt. Seine schnelle thermische Zykluszeit, Präzisionstemperaturregelung und integrierte Sicherheitsfunktionen machen es zu einer idealen Wahl für die Halbleiterproduktion.
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