Gebraucht PROCESS PRODUCTS 100 #9063019 zu verkaufen
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ID: 9063019
Rapid Thermal Annealer, 2"
Maximum temperature: 850º C
Control section:
Power setting for slop
Dwell power limit
K-Type thermocouple
SCR Control of lamps
Water cooling around chamber
Silicone seal around door
2 Gallons/min of water
115 V, 30 Amps
N2 Cover gas.
PROCESS PRODUCTS (PP) PROCESS PRODUCTS 100 ist ein innovativer schneller thermischer Prozessor, der für verschiedene fortschrittliche Halbleiteranwendungen wie MEMS und Compound-Halbleitertechnologien entwickelt wurde. Es ist eine leistungsstarke, effiziente, kompakte und kostengünstige thermische Verarbeitungsanlage, die einen zweistufigen Heizprozess verwendet, um die Leistung und Zuverlässigkeit der Produkte zu verbessern. Der PP 100 ist ein vollautomatischer thermischer Prozessor, der die Verarbeitungszeit, die Temperaturschwankungen und den Energieverbrauch reduziert. Mit der Fähigkeit, optimierte Prozessbedingungen in weniger als 90 Sekunden zu erreichen, liefert dieses System schnell und präzise das gewünschte Ergebnis. Es kann sowohl Einzel- als auch Multiplewafer auf einer einzigen Kassette handhaben. Die Einheit besteht aus mehreren Komponenten, darunter einem zweistufigen Ofenmodul, einem Mikroprozessorsteuermodul und einem luftgekühlten Kochplattenmodul. Das zweistufige Ofenmodul ermöglicht es der Maschine, schnell Hochtemperatur-Prozessbedingungen zu erreichen. Es besteht aus zwei unabhängigen, programmierbaren Quarzhalogenlampen, die bei unterschiedlichen Temperaturen arbeiten, und ist so konzipiert, dass thermische Auslauf- und Hot-Spots verhindert werden. Das Mikroprozessorsteuermodul ermöglicht es dem Benutzer, das gesamte Werkzeug von einem einzigen Controller aus zu überwachen und zu steuern. Es ist mit einem thermischen Asset-Monitor ausgestattet, um die Temperaturgenauigkeit und Prozesskontrolle sicherzustellen. Das luftgekühlte Kochplattenmodul ist in der Lage, eine lokalisierte Kühlung bereitzustellen, um extrem kurze Prozesszeiten zu erreichen. Die PP PROCESS PRODUCTS 100 wurde unter Berücksichtigung von Sicherheit und Komfort entwickelt. Es enthält ein Stickstoff- oder Inertgasmodul, um eine sichere Arbeitsumgebung zu erhalten, indem Sauerstoff, Feuchtigkeit und andere Verunreinigungen während des Betriebs aus dem Modell entfernt werden. Die Ausrüstung enthält auch einen Not-Aus-Schalter, um das System im Falle einer unsicheren Situation schnell zu stoppen. Es ist für einen geringen Platzbedarf ausgelegt und kann weniger als 1% des Geräuschpegels im Zusammenhang mit herkömmlichen thermischen Verarbeitungssystemen erzeugen. Die Fähigkeit des PP 100, Halbleiterprodukte schnell und präziser zu verarbeiten, macht es zu einer großartigen Option für Halbleiterhersteller. Es hat die Fähigkeit, Standardprozesstemperaturen bis 1000 ° C in unter 90 Sekunden mit ausgezeichneter Temperaturstabilität, Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit und Energieeffizienz zu erreichen. Es ist auch kostengünstig und bietet eine kleinere Stellfläche, so dass es eine ideale Ergänzung zu jeder Halbleiterverarbeitungslinie.
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