Gebraucht SSI Solaris 150 #9268077 zu verkaufen

SSI Solaris 150 ist ein schneller thermischer Prozessor, der für verschiedene Forschungs- und Industrieanwendungen entwickelt wurde. Es bietet eine ausgezeichnete und gleichmäßige Waferheizung über einen weiten Temperaturbereich von -150 ° C bis 1000 ° C mit einer schnellen Rampenrate. Es bietet eine kompakte Bauweise und eine präzise Roboterscheibenhandhabung, die es ermöglicht, eine Vielzahl von Wafergrößen (2 ", 3", 4 ", 5" und 6 ") zu unterstützen und schnell für einzelne Wafer- oder Chargenoperationen neu zu konfigurieren. Solaris 150 ist mit fortschrittlicher PID-gesteuerter Wafer-Heizung mit einem Festkörperlampen-Kopplungssystem für eine gleichmäßige und wiederholbare thermische Verarbeitung konzipiert. Es kann eine Hochtemperaturrampenrate von über 20 ° C/s erreichen, und es hat auch ein integriertes optisches Pyrometer, das hilft, die Wafertemperatur genau zu messen. Die integrierte Windows-basierte Software bietet eine vollständige Prozesssteuerungsflexibilität mit programmierbaren Rezeptoptionen. SSI Solaris 150 verfügt über eine anpassbare Steuerungsarchitektur, die eine schnelle Kalibrierung und Rezeptentwicklung ermöglicht. Es verfügt über ein hochauflösendes digitales Farbdisplay mit intuitiven Touchscreen-Bedienelementen, sodass Benutzer das Gerät schnell und einfach überwachen und konfigurieren können. Diese RTP-Maschine verfügt auch über eine flexible Kommunikationsarchitektur, die über Ethernet oder PC verbunden werden kann und eine Fernüberwachung und Steuerung des Prozesses ermöglicht. Solaris 150 wurde entwickelt, um verschiedene Prozesse wie Glühen, Nitridieren, Oxidation, Diffusion, Rekristallisation, Metallabscheidung und Depassivierung durchzuführen, um die hohen Qualitätsanforderungen von Photonics, MEMS, RF und Mikroelektronik-Anwendungen zu erfüllen. Es ist kostengünstig, geringer Platzbedarf und hohe Einheitlichkeit machen es ideal für Forschungslabors, Universitäten und kleine Produktionsstätten. Für überlegene Leistung und Zuverlässigkeit verfügt SSI Solaris 150 über erweiterte Sicherheitsfunktionen, einschließlich einer schützenden Metallabdeckung und einer Sicherheitsverriegelung, die eine Waferübertragung bei Stromausfall verhindert. Es hat auch ein fortschrittliches Reinigungswerkzeug, das hilft, die Qualität des verarbeiteten Wafers zu verbessern und auch hilft, die Möglichkeit einer Kontamination zu reduzieren.