Gebraucht STEAG / AST / MATTSON Helios #9193169 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9193169
Wafergröße: 12"
Rapid Thermal Processor (RTP), 12"
RTA / Spike anneal
Pressure: ATM
Temperature: 1150°C
Front interface: (3) Load ports
Front end: Ball room
Platform:
RORZE Robot 700 Dual arm
Upper arm: Metal blade
Lower arm: QUARTZ Blade
Type: TDK
TAS300
RFID Foup reader
GEM: Ethernet (HSMS)
MATTSON MMC (P/N: 3001068)
MATTSON Sequencer (P/N: 17002560)
MATTSON I/O Controller (P/N: 17000910)
(8) Cooling stations
(4) Dummy stations
Process module 1, 2:
MATTSON Wafer pyro (P/N: 17001048)
MATTSON Lamp pyro (P/N: 17001040)
MFC Model unit
Gas 3 / UFC 8100 / N2 / 20 SLM
Gas 4 / UFC 3101 / N2 / 150 SLM
Gas 7 / UFC 8100 / O2 / 20 SLM
Gas 8 / UFC 3101 / O2 / 150 SLM
Gas 9 / UFC 8100 / O2 / 2 SLM
Process Quartzware: Standard
Electric:
Transformer
UPS Internal
Power supply: 480 V.
STEAG/AST/MATTSON Helios ist ein schneller thermischer Prozessor (RTP), der die thermische Verarbeitung verschiedener Materialien schnell und präzise erleichtert. Unter Verwendung einer als Rapid Thermal Processing (RTP) bekannten Technik kann es schnell Substrate und Material hochfahren und abkühlen sowie eine Vielzahl von präzisen thermischen Behandlungen durchführen. Das fortschrittliche technologische Design hinter diesem RTP ermöglicht es, Temperaturen von 50 ° C bis 1300 ° C schnell zu manipulieren. Darüber hinaus ist die Ausrüstung in der Lage, dies in nur zwei Sekunden zu tun, so dass es ein sehr zuverlässiges Werkzeug für die schnelle Bearbeitung von vielen verschiedenen Materialien. AST Helios bietet eine hochwertige, gleichmäßige thermische Behandlung des Substrats in hochreinen Atmosphären sowie eine Vielzahl anderer Prozessatmosphären. Das System ist auch in der Lage, eine ausgezeichnete thermische Gleichförmigkeit über große Substratscheiben zu erhalten, um zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse auf vielen Substratmaterialien zu gewährleisten, einschließlich Metallen, Polymeren und Silizium- und Siliziumbasisverbindungen. Darüber hinaus verfügt das Gerät über ein modernes optisches Pyrometer und maßgeschneiderte Metallhalogenidbogenlampen, die ein ausgezeichnetes Maß an Prozesskontrolle und -überwachung bieten und sicherstellen, dass alle thermischen Behandlungen leicht wiederholbar und genau sind. Dies ermöglicht es dem Anwender, plötzliche Temperaturänderungen zu überwachen und darauf zu reagieren, um sicherzustellen, dass das Substrat für die Dauer seiner Behandlung unter optimalen Bedingungen gehalten wird. Zudem ist die Maschine aufgrund ihrer strategischen Konstruktion von Natur aus robust. Seine industriellen Schwingungsdämpfer und seine präzisen mechanischen Tischbewegungssysteme sorgen dafür, dass der Prozess präzise und effizient durchgeführt wird. Insgesamt ist STEAG Helios ein zuverlässiger und hocheffektiver Schnellwärmeverarbeiter, der für eine Vielzahl von Materialbearbeitungs- und Forschungsprojekten eingesetzt wird. Seine Präzision, Geschwindigkeit, Wiederholbarkeit und Wirksamkeit machen es zu einer lohnenswerten Investition für diejenigen, die eine zuverlässige und genaue Methode der thermischen Behandlung suchen.
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