Gebraucht STEAG / AST / MATTSON Helios #9219024 zu verkaufen

STEAG/AST/MATTSON Helios ist ein schneller thermischer Prozessor, der die Technologie von Rapid Thermal Processing (RTP) nutzt. Es ist ein hochdurchsatzreiches, kostengünstiges Verfahren zur Herstellung von Halbleiterscheiben. AST Helios wurde entwickelt, um eine genaue, wiederholbare und effiziente thermische Verarbeitung in mehreren Anwendungen bereitzustellen, die Glüh-, Diffusions- und Oxidationsprozesse umfassen. Die Ausrüstung ist mit einem integrationsfähigen Ofendesign, mehreren Messfähigkeiten und integrierten Sicherheitsmerkmalen konfiguriert. STEAG Helios nutzt ein vielseitiges Ofendesign mit zwei Heizzonen und zwei Kühlzonen, die Temperaturen von 1100 ° C erreichen können. Der Prozessor ermöglicht eine präzise Steuerung des schnellen thermischen Profils mit Temperaturübergängen von 30 bis 500 ° C/Sekunde und Verweilzeiten von 10 bis 60 Sekunden, wodurch er für eine schnelle und präzise Verarbeitung geeignet ist. Darüber hinaus bietet das Gasfördersystem des Prozessors Flexibilität bei der atmosphärischen Steuerung, sodass Stickstoff-, Sauerstoff- und Argonatmosphären erzeugt werden können. Um die Sicherheit der Einheit zu gewährleisten, ist die Prozesskammer mit redundanten Sicherheitsmessungen ausgestattet, einschließlich Gasmonitor, Drucksensoren, Thermoelementen und abgedichteten Türverriegelungen. MATTSON Helios ist in der Lage, einen Prozess innerhalb einer Kammer mit integrierten optischen Pyrometern, die Waferpotentiale überwachen, genau zu überwachen und kann Temperaturen innerhalb von 2 mA des Sollwerts einstellen. Der Prozessor wurde entwickelt, um sich mit anderen Geräten zu integrieren und eine Steuerungsplattform zu nutzen, unabhängig von der Computerunterstützung, die eine einfache und schnelle Konfiguration der gewünschten Prozessparameter ermöglicht. Darüber hinaus ist der Prozessor mit einer benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche (GUI) für einfache Bedienung und Steuerung ausgestattet. Helios ist ein effizienter und effektiver Rapid Thermal Processor für mehrere Anwendungen in der Halbleiterwaferproduktion und wurde entwickelt, um die höchsten Qualitätsanforderungen für eine Vielzahl von Produkten und Prozessen zu erfüllen. Die Maschine bietet eine präzise Steuerung von Temperaturprofilen, Sicherheitsfunktionen, integrierte optische Pyrometer und eine benutzerfreundliche GUI für einfache Bedienung, so dass es eine ideale Wahl für schnelle thermische Verarbeitung.