Gebraucht STEAG / AST / MATTSON Helios #9235480 zu verkaufen

STEAG/AST/MATTSON Helios ist ein schneller thermischer Prozessor, der eine thermische Verarbeitung mit hohem Durchsatz von Wafersubstraten unter präziser und genauer thermischer Kontrolle ermöglicht. AST Helios wurde entwickelt, um die strengsten Anforderungen an die industrielle Messtechnik zu erfüllen und ist die einzige verfügbare Ausrüstung, die eine vollautomatische Präzisionsplatzierung von Substraten und schnelle Glühzeiten auf einem einzelnen Wafer ermöglicht. Dieses System verwendet fortschrittliche Verfolgungstechniken, die Substrattemperatur und Position während der Verarbeitung messen und verfolgen. STEAG Helios ist ein Hochleistungs-Schnellwärmeprozessor, der sowohl aus einem Glühmodul als auch einem Be-/Entlademodul besteht. Das Glühmodul umfasst ein hochauflösendes Differentialabtastkalorimeter (DSC) und eine Induktionsheizeinheit, die zur präzisen Temperaturregelung zusammenarbeiten. Diese Maschine verwendet auch eine fortschrittliche 6-Achsen-Bewegungssteuerungsplattform, um die Proben während des Glühens genau zu positionieren, sowie eine ausgeklügelte Software, um den Prozess zu steuern. Das Be- und Entlademodul von Helios verwendet einen Roboterarm, um Proben von der Kassette zur Glühstufe und wieder zurück zu transportieren. Dieses Modul beinhaltet auch integriertes Vision-Tool, das Probenpositionen erkennt und eine genaue und wiederholbare Positionierung von Substraten gewährleistet, sowie End-Effektor-Sensoren, um die Probenintegrität zu gewährleisten. MATTSON Helios beinhaltet auch eine voll integrierte Umgebungskammer zur automatisierten atmosphärischen Steuerung. Diese Umgebungskammer verfügt über mehrere Kammern zur Steuerung von Luft- und Gasdurchflussraten während der Verarbeitung, eine Hochdruckgasversorgungsanlage sowie eine programmierbare Temperatur- und Feuchtigkeitsregelung. Die Umgebungskammer umfasst auch ein Temperaturüberwachungsmodell zur Überwachung der Gleichmäßigkeit der Umgebung innerhalb der Kammer. Schließlich nutzt STEAG/AST/MATTSON Helios eine automatisierte Benutzeroberfläche, die eine einfach zu bedienende grafische Oberfläche zur Steuerung der Geräte bietet. Diese Benutzeroberfläche umfasst auch eine integrierte Software-Suite, die die Erfassung, Fernbedienung und Analyse von Daten während des thermischen Verarbeitungszyklus ermöglicht. Die Software-Suite beinhaltet auch Werkzeuge zur Optimierung des Temperierzyklus sowie eine Echtzeit-Überwachung von Temperatur und Position. Insgesamt ist AST Helios ein hochoptimierter Schnellwärmeprozessor, der eine präzise und genaue thermische Steuerung für Wafersubstrate bietet. Das System wurde entwickelt, um die strengsten Anforderungen an die industrielle Messtechnik zu erfüllen, und seine integrierte Automatisierung und erweiterte Softwarefunktionen machen es zur idealen Lösung für die thermische Verarbeitung mit hohem Durchsatz.