Gebraucht STEAG / MATTSON / AST 100 #9190168 zu verkaufen

STEAG/MATTSON/AST 100 Rapid Thermal Processor ist eine fortschrittliche thermische Verarbeitungsanlage für eine Vielzahl von Forschungs- und Industrieanwendungen. Es bietet eine schnelle thermische Verarbeitung und direkten Wärmeübergang zwischen Probe und Substrat mit einem einstufigen, einzigen Kammeransatz. Das System verwendet ein Widerstandsheizelement, und seine einzigartige Architektur bietet eine breite Palette von thermischen und Prozessparametern. Dadurch kann das Gerät den Anforderungen einer Vielzahl von thermischen Verarbeitungsanwendungen gerecht werden. Die Maschine verwendet eine Hochtemperatur-Quarzkammer mit niedriger Wärmeleitfähigkeit, um eine thermisch isolierte Umgebung zu schaffen. Thermische Stabilität und geringe thermische Masse sind die beiden wichtigsten Merkmale dieser Konstruktion. Die Kammer sorgt dafür, dass die Probe gleichmäßig erhitzt wird, während ihre geringe Masse und ihre hohe Wärmeleitfähigkeit ein schnelles Temperaturverhalten gewährleisten. Die Kammer ermöglicht auch schnelle Heiz- und Kühlzyklen, so dass sie für schnelle thermische Verarbeitung und Glühanwendungen geeignet ist. Das Werkzeug umfasst einen Entwicklungsrechner, einen Quarzofen, ein Widerstandsheizelement, Temperatur-, Druck- und Strömungssensoren und eine Steuereinrichtung. Es ist mit einem PID-Regelkreis zur Temperaturregelung sowie zusätzlichen Steuerungsmerkmalen wie Prozesszeitgeber, Druckregelung und Prozessmonitor ausgestattet. Das Modell ist auch in der Lage, eine zusätzliche Probenlast zu steuern. Das Gerät ist in der Lage, auch bei extremen Temperaturen präzise Temperaturregler und Heizprofile bereitzustellen. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Substraten wie Metalle, Polymere und Halbleitermaterialien zu verarbeiten. Es kann auch für RTP und Schnellglühen, sowie eine breite Palette von anderen schnellen thermischen Verarbeitungsanwendungen verwendet werden. AST 100 ist ein ideales System für fortschrittliche thermische Verarbeitungsanwendungen. Die einstufige Einkammer-Architektur bietet eine hervorragende Prozesskontrolle und thermische Stabilität bei extremen Temperaturen. Sein einzigartiges Design ermöglicht auch eine präzise Temperaturregelung und Heizprofile, so dass es für eine Vielzahl von Verarbeitungsanwendungen geeignet ist.