Gebraucht STEAG / MATTSON / AST 2800 Epsilon #9139817 zu verkaufen

STEAG/MATTSON/AST 2800 Epsilon ist ein Rapid Thermal Processor (RTP), der von der Halbleiter- und Elektronikindustrie für einen effizienten Durchsatz der Gerätebearbeitung verwendet wird. Durch die Nutzung der hochmodernen Warm- und Kaltverarbeitungsfähigkeiten ist AST 2800 Epsilon in der Lage, eine anspruchsvolle Wärmebehandlung von Gerätestrukturen und Substraten bereitzustellen. Es erzielt qualitativ hochwertige Ergebnisse und minimiert Zeit und Kosten. STEAG 2800 Epsilon ist mit zwei unabhängigen thermischen Prozesskammern ausgestattet, die jeweils Temperaturen von bis zu 1100 ° C erreichen können. Jede Kammer ist auch mit den neuesten Substrat Heizung, Kühlung und thermischen Zyklen Fähigkeiten ausgestattet. Dadurch lassen sich unterschiedlichste thermische Profile erzielen. Die Genauigkeit und Präzision von 2800 Epsilon wird durch fortschrittliche Temperaturkontrollsysteme und Rückkopplungssonden gewährleistet. Temperaturmessungen werden an den Ober-, Unter- und Seitenflächen der Kammer vorgenommen, während der Prozess ausgeführt wird, wodurch eine mögliche ungleichmäßige Erwärmung beseitigt wird. In den Prozesskammern von MATTSON 2800 Epsilon können verschiedene Gefäßtypen eingesetzt werden. Dazu gehören Quarz-, Aluminium-, Keramik- und Glasgefäße. Ausrichtungsstifte innerhalb der Kammern verhindern ein Drehen der Gefäße während des laufenden Prozesses. Die Prozessflüssigkeit beider Kammern kann gefiltert werden, um die Gefäßwände vor Verunreinigungen zu schützen. Dies geschieht mit einer Vielzahl von Filtern, wie metallischen Filtern, Folienfiltern und Membranfiltern, die vor Ort installiert werden können. Die Heiz- und Kühlsysteme von STEAG/MATTSON/AST 2800 Epsilon sind für eine schnelle, gleichmäßige thermische Verarbeitung ausgelegt. Mit Hilfe von Hochleistungsreglern können beide Kammern ihre Temperaturen und Timing mit höchster Genauigkeit unabhängig steuern. Dieses gleichzeitige Design spart Zeit und Energie und ermöglicht schnellere, effizientere thermische Behandlungen. AST 2800 Epsilon bietet auch die Flexibilität der Fernüberwachung und Bedienung über die integrierten digitalen Steuerungssysteme, die verschiedene Systemdatenprotokolle, kritische Fehlermeldungen und andere Funktionen anbieten. Es bietet auch eine erweiterte Benutzeroberfläche für Benutzerfreundlichkeit. Insgesamt ist STEAG 2800 Epsilon ein fortschrittliches RTP, das in der Lage ist, einheitliche, schnelle und präzise thermische Behandlungen einer Vielzahl von Substraten und Gerätestrukturen bereitzustellen. Durch leistungsstarke Controller, schnelle thermische Zyklen und eine einfache Benutzeroberfläche bietet es eine energieeffiziente und kostengünstige Lösung für die Gerätebearbeitung.