Gebraucht STEAG / MATTSON / AST 2800 Epsilon #9195879 zu verkaufen

STEAG/MATTSON/AST 2800 Epsilon ist ein fortschrittlicher thermischer Prozessor für den Hochdurchsatzbetrieb. Es ist ein kompaktes, in sich geschlossenes Instrument mit einer Einheitsplattform mit einem Warmwandofen, einem Wafer-Transferroboter und einem Controller. Ideal für Forschungs- und Produktionsanforderungen nutzt dieser schnelle thermische Prozessor eine präzise Temperaturregelung, um konsistente Ergebnisse zu gewährleisten. AST 2800 Epsilon verfügt über ein Warmwanddesign mit 24 energiereichen Quarzlampen. Für ein schnelles thermisches Glühen sorgt diese Einheit für eine gleichmäßige Wärmeverteilung über den Wafer, um die Abscheidungsgleichmäßigkeit zu erhöhen. Die Lampen sind in einer geschlossenen Konfiguration platziert, um höhere Temperaturen und gleichmäßigere Gleichmäßigkeit zu ermöglichen. STEAG 2800 Epsilon kann Temperaturen bis 600 Grad Celsius erreichen und die Temperaturkontrollgenauigkeit innerhalb von 1 ° C halten. Der in MATTSON 2800 Epsilon enthaltene Wafer-Transferroboter ist in der Lage, 20mm x 150mm Wafergrößen mit einer maximalen Tragfähigkeit von 50g zu handhaben. Dieser Roboter gewährleistet eine zuverlässige und präzise Handhabung von Wafern auch bei hohen Geschwindigkeiten für eine reibungslose und schnellere Probenbearbeitung. Darüber hinaus verfügt 2800 Epsilon auch über ein fortschrittliches Temperatur- und Vakuumsteuerungssystem, das zur Minimierung der thermischen Ungleichmäßigkeit entwickelt wurde. Der fortschrittliche Controller von STEAG/MATTSON/AST 2800 Epsilon ermöglicht es Benutzern, bis zu 20 Rezepte mit allen wesentlichen Parametern zu speichern. Dazu gehören Zykluszeit, Profilsollwerte, Kühlrate und andere wichtige Prozessparameter. Der benutzerfreundliche grafische Touchscreen ermöglicht eine einfache und intuitive Bedienung. AST 2800 Epsilon ist die ideale Lösung für die schnelle thermische Verarbeitung von Wafern. Mit seinen präzisen Heizfunktionen, der automatisierten Waferübertragung und dem intuitiven Controller ist dieser schnelle Wärmeprozessor für maximale Effizienz und Genauigkeit ausgelegt.