Gebraucht STEAG / MATTSON / AST 2800 #293621529 zu verkaufen

AST/STEAG / MATTSON / ist AST 2800 ein schneller Hochleistungsthermalverarbeiter, der fortgeschrittene Thermalverarbeitung und fortgeschrittene kühl werdende Technologie für die genaue Kontrolle und Verarbeitung von fortgeschrittenen mikroelektronischen Materialien verwertet. Diese Technologie bietet schnelle thermische Rampenraten, eine präzise Temperaturregelung und eine enge Gleichmäßigkeitsleistung bei schnellen Abkühlzeiten. AST 2800 ist für eine breite Palette von Hochtemperaturanwendungen wie Oxidabscheidung und Ätzen, Diffusion, Glühen, Photolithographie und Prüfung konzipiert. Dieses Gerät verwendet ein einzigartiges X-Y gesteuertes Wafer-Positioniersystem, das genaue thermische Prozesse ohne äußere Bewegung während des Prozesszyklus ermöglicht. STEAG AST2800 verfügt auch über vier erweiterte thermische Zonen und vier vertikale Gaseinspritzzylinder für eine präzise Gasförderung während der Prozesse. STEAG 2800 verwendet eine fortschrittliche Mikroverarbeitungs- und Instrumentierungseinheit, um zuverlässige, wiederholbare Leistung zu bieten. Die Mikroverarbeitungsmaschine bietet eine hohe Geschwindigkeit und präzise thermische Steuerung mit fortschrittlicher Temperatur-, Rampen- und Zyklusprogrammierung. Das Instrumentierungswerkzeug bietet Präzisionsüberwachung und Kontrolle von Temperatur, Temperaturgleichförmigkeit, SOI (Oberfläche von Interesse) Temperatur und Gasdruck. MATTSON 2800 ist für den Betrieb in Reinräumen der Klasse 10 konzipiert. Es wurde entwickelt, um eine genaue und wiederholbare Leistung innerhalb sehr enger Temperaturgleichförmigkeitstoleranzen zu gewährleisten. Die Anlage ist auch in der Lage, eine breite Palette von Substratgrößen zu handhaben und ist mit einer Vielzahl von Wafer-Handling-Systemen kompatibel. STEAG/MATTSON/AST AST2800 bietet eine Vielzahl von Temperaturregelverfahren, einschließlich Temperaturalgorithmus-Steuerung. Dieser Algorithmus dient zur Kompensation von thermischen Ansprechunterschieden bei zeitlich variierenden thermischen Prozessen. Das Modell bietet auch eine Reihe von Temperaturregulierungsmethoden, einschließlich Heizung, Kühlung und intelligente Temperaturregelung. 2800 ist ein fortschrittlicher thermischer Prozessor für fortschrittliche mikroelektronische Materialien. Seine hohe Geschwindigkeit und präzise Temperaturregelung, gepaart mit seiner maßgeschneiderten thermischen Rampe und Zyklusprogrammierung machen es zu einem idealen Werkzeug für eine Vielzahl von Hochtemperaturprozessen.