Gebraucht STEAG / MATTSON / AST 2800 #9038290 zu verkaufen

STEAG/MATTSON/AST 2800 ist ein Schnellwärmeprozessor (RTP) für Forschung, Entwicklung und Waferproduktion. Es ist ein Multimodus-Werkzeug, das mehrere thermische Prozesse wie Oxidation, Glühen, Diffusion und Sputtern durchführen kann. AST 2800 nutzt zwei Prozesskammern, eine enthält eine Induktionsspule und die andere eine Infrarotquelle - jeweils unabhängig gesteuert. Das Hauptmerkmal von STEAG AST2800 ist die hohe Temperatur und die schnelle Verarbeitung. Die Spulen- und Infrarotquellen sind in der Lage, die Temperatur des Wafers oder Substrats durch schnelle thermische Verarbeitung auf 1000 ° C bzw. 1500 ° C anzuheben. Die hohe Verarbeitungstemperatur ermöglicht schnelle und präzise Substratmodifikationen wie Silizidierung und Phasentransformation. MATTSON 2800 ist auch mit fortschrittlichen Steuerungssystemen ausgestattet. Es ist mit Vakuumschmelze fortschrittliche Mikroprozessortechnologie entworfen, die eine präzise Temperatur- und Zeitkontrolle mit minimalem Eingriff des Bedieners ermöglicht. Das fortschrittliche Steuerungssystem trägt auch dazu bei, die Gleichmäßigkeit der Temperaturen während des gesamten Prozesses aufrechtzuerhalten und gewährleistet so die Gleichmäßigkeit des Endprodukts. Darüber hinaus ist STEAG/MATTSON/AST AST2800 ein multifunktionales System, das mehrere Prozesse gleichzeitig durchführen kann. Es hat eine doppelte schnelle thermische Zone, in der zwei Prozesse gleichzeitig stattfinden können. Diese Funktion ermöglicht eine effiziente Nutzung von Zeit und Ressourcen, da der Prozessdurchsatz drastisch erhöht werden kann, indem mehrere Prozesse gleichzeitig durchgeführt werden. AST AST2800 verfügt zudem über eine umfassende Softwareplattform, die eine einfache Bedienung ermöglicht. Die Softwareplattform bietet Echtzeit-Prozesssteuerdaten, detaillierte Wafer-History-Tracking, Rezepte und Prozessarchive. Dies gewährleistet eine reibungslose Waferbearbeitung und eine bessere Kontrolle der Parameter jedes Prozesses. Insgesamt ist AST2800 ein zuverlässiger und hochentwickelter schneller thermischer Prozessor, der ausgezeichnete Präzision, Temperaturwiederholbarkeit und Durchsatz bietet. Es ist aufgrund seiner hohen Temperatur, seines schnellen Zyklus und seiner gründlichen Prozesssteuerungsfunktion für eine Vielzahl von Anwendungen und Prozessen äußerst nützlich.