Gebraucht STEAG / MATTSON / AST 2800 #9154640 zu verkaufen

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ID: 9154640
Wafergröße: 6"
Standalone RTP system, 6" 208V 43KW Robot: ESC-305 Aligner: PRE-200 Gas line: 6 lines IPC O/S: WIN 2000 (38) Lamps Pyrometer : Dr Maurer ILC version : ILC3 SHSp software ver : 1.6.1.
STEAG/MATTSON/AST 2800 Rapid Thermal Processor (RTP) ist ein Gerät zur schnellen und präzisen Temperaturregelung im Labor für eine Vielzahl von Materialien, von dünnen Schichten und Halbleitern bis hin zu Metallen und polymeren Materialien. AST 2800 ermöglicht eine schnelle Erwärmung und präzise Temperaturregelung mit einer Reaktionskammertemperatur bis 1300 ° C (2370 ° F). Das Gerät ist ein inerter atmosphärischer, integrierter, kompakter N2-Umgebungs-Prozessor mit einem 20 "vertikalen oder horizontalen Quarzrohr. Das Heizgerät ist eine 18kW Induktions-/Mikrowellenfrequenz, die eine Einlaufheizung von Raumtemperatur auf Maximaltemperatur in ca. 10 Minuten ermöglicht. Die maximale Temperaturänderungsrate beträgt bis zu 800 ° C/min. Die Vorrichtung ist außerdem mit einem fortschrittlichen Gasdosiersystem für kontrollierte Oxidations- und Nitridierungsprozesse ausgestattet. STEAG AST2800 kann prozessabhängig im offenen oder geschlossenen Zyklus eingesetzt werden, wobei die Temperaturen mit Platinwiderstandsthermometern überwacht und gesteuert werden. Die Vorrichtung kann auch verwendet werden, um Materialeigenschaften in situ mit thermoelektrischen Diagnosesonden wie Widerstand, Emissionsgrad, Leitfähigkeit und mehr zu messen. Das Gerät wird über eine Computerschnittstelle für Dateneingabe, Ausgabe und Programmierung mit kompletter Maschinenverwaltung und Konnektivität gesteuert. STEAG 2800 verfügt zudem über mehrere Sicherheitsmerkmale zur Vermeidung von Überhitzung und Ausbrennen von Elementen, wie automatische Abschaltung und/oder programmierbarer Überhitzungsschutz. Das Gerät eignet sich aufgrund seiner hohen Temperaturgenauigkeit und der präzisen thermischen Steuerung besonders für die Materialforschung und -entwicklung. Insgesamt ist MATTSON AST2800 Rapid Thermal Processor ein fortschrittliches Gerät, das dem Labor eine hochpräzise und erhöhte Geschwindigkeit bei der Temperaturregelung verschiedener Materialien bietet. Seine Eigenschaften, wie das schnelle Heizen, das Gasdosierwerkzeug und die Sicherheitsmerkmale, machen 2800 zu einem zuverlässigen und effizienten Werkzeug für Forschung und Entwicklung.
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