Gebraucht STEAG / MATTSON / AST 2800 #9185557 zu verkaufen

STEAG/MATTSON/AST 2800 ist ein Schnellwärmeprozessor (RTP) für Hochtemperaturglüh- und Lithographieverfahren. Das Gerät verwendet eine Hochleistungs-Mikrowellenquelle und einen speziell entwickelten Graphit-Suszeptor, um eine schnelle, lokalisierte Erwärmung von Dünnschichtmaterialien zu ermöglichen. Das RTP bietet einheitliche Temperaturprofile im Bereich von 50-600 ° C mit einer maximalen Wärmebelastungszeit von bis zu 2ms. Es ist auch in der Lage, wiederholbare Temperaturprofile über eine breite Palette von kleinen Proben von bis zu 2mm Größe. Das System verwendet eine speziell konstruierte Applikationskammer, die mit einer ergonomischen Probenbehältereinheit ausgestattet ist. Dies bietet eine effiziente und sichere Umgebung für eine schnelle Verarbeitung und hilft, eine präzise Temperaturregelung ohne Probenbewegung zu gewährleisten. Um die Präzision weiter zu erhöhen, verwendet die Maschine eine Reihe präziser Bewegungssteuerelemente und Rückkopplungsmechanismen. Ein Einzelkamera-CCD-Bildgebungstool ist zur Überwachung des Probenverlaufs während der thermischen Verarbeitung verfügbar. Das optische Asset verfügt über ein weites Sichtfeld (bis zu 40 °) und eine große Pixelgröße, die eine hochauflösende Abbildung von sich schnell ändernden thermischen Eigenschaften ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht ein hochdynamisches Bereichsmodell die Temperaturabbildung mehrerer Bereiche. Das RTP ist kompatibel mit einer Vielzahl innovativer Dünnschichtmaterialien und Anwendungen. Es eignet sich für die Verwendung mit Polysilizium, Siliziumnitrid, Siliziumdioxid und anderen Materialien für Hochtemperaturglühverfahren und Lithographieverfahren. Darüber hinaus eignet es sich gut für schnelle temporäre Temperaturexperimente, bei denen der thermische Schock verschiedener dünner Filme gemessen und die optimalen Glühzeiten für verschiedene thermische Verarbeitungstechniken schnell bestimmt werden sollen. Schließlich wurde das RTP entwickelt, um eine hervorragende Gerätestabilität mit einer hohen Kontrollgenauigkeit und Reproduzierbarkeit der Ergebnisse zu gewährleisten. Das System zeichnet sich auch durch geringen Stromverbrauch und geräuscharmen Betrieb aus und ist somit ideal für Anwendungen in sensiblen Laboranwendungen geeignet.